[發(fā)明專利]光學(xué)式粒子檢測裝置以及粒子的檢測方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310247288.8
• 申請日: 2013-06-20
• 公開（公告）號: CN103512863A
• 公開（公告）日: 2014-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 衣笠靜一郎
• 申請（專利權(quán)）人: 阿自倍爾株式會社
• 主分類號: G01N21/53
• 分類號: G01N21/53;G01N21/64
• 代理公司: 上海市華誠律師事務(wù)所 31210
• 代理人: 肖華

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及環(huán)境評價技術(shù)，尤其涉及光學(xué)式粒子檢測裝置以及粒子的檢測方法。

背景技術(shù)

在生物凈化室等凈化室中，采用粒子檢測裝置來對飛散的粒子進行檢測和記錄（例如，參照專利文獻1至3以及非專利文獻1。）。可以根據(jù)粒子的檢測結(jié)果掌握凈化室的空調(diào)設(shè)備的劣化情況。又，有時還會將凈化室內(nèi)的粒子的檢測記錄作為參考資料附加在由凈化室所制造的產(chǎn)品上。

光學(xué)式的粒子檢測裝置例如吸引凈化室中的氣體，對所吸引的氣體照射激發(fā)光。如果氣體中包含有粒子的話，被照射激發(fā)光的粒子就會發(fā)出熒光或者自家熒光（以下，將“熒光”以及“自家熒光”都稱為“熒光”。）。粒子所發(fā)出的熒光的波長以及強度取決于粒子的種類。因此，通過觀測粒子所發(fā)出的熒光的波長或者強度，可以確定在凈化室內(nèi)飛散的粒子的種類。

又，光學(xué)式的粒子檢測裝置對通過向粒子照射光而產(chǎn)生的散射光進行分析，從而還可以確定粒子的濃度、大小等。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特表2000－500867號公報

專利文獻2：日本特開2008－32659號公報

專利文獻3：日本特開2011－21948號公報

非專利文獻

【非專利文獻1】長谷川倫男及其他，「氣體中微生物實時檢測技術(shù)及其應(yīng)用」，株式會社山武，azbil?Technical?Review?2009年12月號，p.2-7，2009年

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的課題

關(guān)于粒子檢測裝置，存在有照射粒子的光的波長被變更的情況。因此，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠與照射粒子的光的波長的變更對應(yīng)的光學(xué)式粒子檢測裝置以及粒子的檢測方法。

用于解決課題的手段

根據(jù)本發(fā)明的形態(tài)，提供一種光學(xué)式粒子檢測裝置，其具有：（a）發(fā)出檢查光的光源；（b）將檢查光轉(zhuǎn)換為平行光的轉(zhuǎn)換單元；（c）朝著焦點對被轉(zhuǎn)換為平行光的檢查光進行反射的聚光反射鏡；（d）對聚光反射鏡的焦點噴射包含粒子的氣流的噴射機構(gòu)；以及（e）對氣流所包含的粒子因被照射檢查光而產(chǎn)生的散射光或者熒光進行檢測的光檢測部。

又，根據(jù)本發(fā)明的形態(tài)，提供一種粒子的檢測方法，包括以下步驟：（a）發(fā)出檢查光的步驟；（b）通過轉(zhuǎn)換單元將檢查光轉(zhuǎn)換為平行光的步驟；（c）利用具有焦點的聚光反射鏡，朝著焦點對被轉(zhuǎn)換為平行光的檢查光進行反射的步驟；（d）對聚光反射鏡的焦點噴射包含粒子的氣流的步驟；以及（e）對氣流所包含的粒子因被照射檢查光而產(chǎn)生的散射光或者熒光進行檢測的步驟。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明，可以提供一種能夠與照射粒子的光的波長的變更對應(yīng)的光學(xué)式粒子檢測裝置以及粒子的檢測方法。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的第1實施形態(tài)所涉及的光學(xué)式粒子檢測裝置的示意圖。

圖2是本發(fā)明的第1實施形態(tài)所涉及的光學(xué)式粒子檢測裝置的示意圖。

圖3是本發(fā)明的第2實施形態(tài)所涉及的光學(xué)式粒子檢測裝置的示意圖。

圖4是本發(fā)明的第2實施形態(tài)所涉及的光學(xué)式粒子檢測裝置的示意圖。

具體實施方式

以下對本發(fā)明的實施形態(tài)進行說明。在以下的附圖的記載中，以相同或者類似的符號來表示相同或者類似的部分。但是，附圖是示意性的圖。因此，具體的尺寸等應(yīng)該結(jié)合以下的說明來進行判斷。又，附圖相互之間含有相互的尺寸關(guān)系、比率不同的部分是當(dāng)然的。

（第1實施形態(tài)）

如圖1所示，第1實施形態(tài)所涉及的光學(xué)式粒子檢測裝置包括：發(fā)出激發(fā)光作為檢查光的光源1、將激發(fā)光轉(zhuǎn)換為平行光的轉(zhuǎn)換單元21、具有焦點并將被轉(zhuǎn)換為平行光的激發(fā)光朝焦點反射的聚光反射鏡31、對聚光反射鏡31的焦點噴射包含粒子的氣流的噴射機構(gòu)3、對氣流中包含的粒子因被照射激發(fā)光而產(chǎn)生的熒光進行檢測的光檢測部4。在此，粒子包含微生物、無害或者有害的化學(xué)物質(zhì)、灰塵、塵土以及塵埃等垃圾等。

作為光源1，例如可以使用發(fā)光二極管（LED），但不限定于此。光源1所發(fā)出的激發(fā)光可以是可見光，也可以是紫外光。激發(fā)光為可見光的情況下，激發(fā)光的波長在例如400至410nm的范圍內(nèi)，例如為405nm。激發(fā)光為紫外光的情況下，激發(fā)光的波長在例如310至380nm的范圍內(nèi)，例如為355nm。光源1上連接有對光源1所發(fā)出的激發(fā)光的強度、波長進行設(shè)定的控制器和對光源1供給電源電流的電源裝置。