[發(fā)明專利]一種真空干燥裝置及光刻工藝有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310246884.4 | 申請日： | 2013-06-20 |
| 公開（公告）號： | CN103353209A | 公開（公告）日： | 2013-10-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陸忠;王軍才;陳巍;李炳天;黃麗娟 | 申請（專利權(quán)）人： | 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號： | F26B9/06 | 分類號： | F26B9/06;F26B7/00;G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京同達(dá)信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291 | 代理人： | 黃志華 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 真空 干燥 裝置 光刻 工藝 | ||
1.一種真空干燥裝置，其特征在于，包括：具有排氣孔和室門的真空室，與所述排氣孔連通的抽真空裝置，以及設(shè)置于所述真空室內(nèi)的加熱組件。
2.如權(quán)利要求1所述的真空干燥裝置，其特征在于，所述加熱組件位于所述真空室底部，所述室門位于所述真空室的頂部，所述排氣孔開設(shè)在所述真空室的側(cè)壁上。
3.如權(quán)利要求2所述的真空干燥裝置，其特征在于，所述加熱組件為微波加熱組件、紅外加熱組件或電阻加熱組件。
4.如權(quán)利要求1～3任一所述的真空干燥裝置，其特征在于，還包括：與所述室門固定連接的絲杠，與所述絲杠傳動連接的電機(jī)，所述絲杠在所述電機(jī)的驅(qū)動下帶動所述室門，使所述室門打開或閉合。
5.一種光刻工藝，其特征在于，包括：
在基板上涂覆光刻膠；
采用如權(quán)利要求1-4任一所述的真空干燥裝置對涂覆在基板上的光刻膠進(jìn)行真空干燥及加熱，真空度為500Pa～26Pa，加熱溫度為30℃～90℃。
6.如權(quán)利要求5所述的光刻工藝，其特征在于，當(dāng)所述光刻膠中感光樹脂為聚丙烯樹脂時，所述加熱溫度為70℃～90℃。
7.如權(quán)利要求5所述的光刻工藝，其特征在于，當(dāng)所述光刻膠中感光樹脂為酚醛樹脂時，所述加熱溫度為30℃～40℃。
8.如權(quán)利要求5～7任一所述的光刻工藝，其特征在于，在基板上涂覆光刻膠之前，還包括：對基板進(jìn)行清洗和脫水干燥工序。
9.如權(quán)利要求8所述的光刻工藝，其特征在于，在對所述光刻膠進(jìn)行真空干燥之后，還包括：預(yù)烘、曝光、顯影和后烘工序。
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