[發明專利]計算待測元件的輪廓數據的方法

無效

• 申請號: 201310246412.9
• 申請日: 2013-06-20
• 公開（公告）號: CN103278127A
• 公開（公告）日: 2013-09-04
• 發明（設計）人: 廖建碩;徐國祥
• 申請（專利權）人: 愛司帝光電科技(蘇州)有限公司
• 主分類號: G01B21/20
• 分類號: G01B21/20
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮;王穎

1.一種計算待測元件的輪廓數據的方法，通過一測量裝置所運算，其特征在于，該待測元件由一第一元件及一第二元件所組成，該方法包括：

a)該測量裝置分別測量取得該第一元件的質心以及該第二元件的質心；

b)該測量裝置規劃一質心線，其連接該第一元件的質心與該第二元件的質心；

c)該測量裝置規劃一第一基準線，其中該第一基準線垂直于該質心線，并且該第一基準線通過該第一元件的質心；

d)該測量裝置規劃至少一垂直線，其中該垂直線垂直于該第一基準線，并且該垂直線不與垂直于該第一基準線的任何一條線相重疊，其中該垂直線與該第一元件的輪廓周緣產生至少二交點，該測量裝置經計算得出該至少二交點的坐標數據；

e)記錄該至少二交點的坐標數據；及

f)該測量裝置依據所記錄的所有點位的坐標數據，定義該待測元件的輪廓。

2.根據權利要求1所述的計算待測元件的輪廓數據的方法，其特征在于，該第一元件與該第二元件凸出于該待測元件的表面，為該待測元件上的兩個分開的凸出物，該第一元件及該第二元件的底部相連，并且具有固定的相對位置。

3.根據權利要求1所述的計算待測元件的輪廓數據的方法，其特征在于，該測量裝置具有一影像擷取單元及一微處理單元，并且該步驟a更包括下列步驟：

a1)通過該影像擷取單元分別為該第一元件與該第二元件的實體擷取對應的元件影像；及

a2)通過該微處理單元對該二元件影像進行計算，藉以由該二元件影像中找出該第一元件的該質心以及該第二元件的該質心。

4.如權利要求3所述的計算待測元件的輪廓數據的方法，其特征在于，該影像擷取單元為一電荷耦合元件，該微處理單元通過Labview軟件對該二元件影像進行演算法的計算。

5.根據權利要求3所述的計算待測元件的輪廓數據的方法，其特征在于，該步驟b中，該質心線與該第一元件的輪廓周緣相交至少一交點，并且該質心線與該第二元件的輪廓周緣相交至少二交點，該測量裝置經計算得出該至少三交點的坐標數據，并且同時記錄該三交點的坐標數據。

6.根據權利要求5所述的計算待測元件的輪廓數據的方法，其特征在于，該步驟c中，該第一基準線與該第一元件的輪廓左側產生一左交點，并且該第一基準線與該第一元件的輪廓右側產生一右交點，該測量裝置經計算得出該左交點及該右交點的坐標數據，并且該測量裝置同時記錄該左交點及該右交點的坐標數據。

7.根據權利要求6所述的計算待測元件的輪廓數據的方法，其特征在于，該步驟c之后更包括下列步驟：

c1)計算該第一元件的質心與該左交點之間的一第一中心點；及

c2)計算該第一元件的質心與該右交點之間的一第二中心點。

8.根據權利要求7所述的計算待測元件的輪廓數據的方法，其特征在于，該步驟c之后包括下列步驟：

c3)該測量裝置尋找該第一元件的輪廓右側的一缺陷弧線的中點；

c4)將該第一基準線進行向上平移，令該第一基準線通過該缺陷弧線的中點，并保持與該質心線垂直；

c5)該平移后的第一基準線與該第一元件的輪廓左側產生一左交點，并且與該第一元件的輪廓右側產生一右交點，該測量裝置經計算得出該左交點及該右交點的坐標數據，并且該測量裝置同時記錄該左交點及該右交點的坐標數據，其中該右交點為該缺陷弧線的中點。

9.根據權利要求7所述的計算待測元件的輪廓數據的方法，其特征在于，該步驟d更包括下列步驟：

d1)規劃一第一垂直線，其中該第一垂直線垂直于該第一基準線并且通過該第一中心點，該第一垂直線與該第一元件的輪廓周緣相交至少二交點,該測量裝置經計算得出該二交點的坐標數據，并且該測量裝置記錄該二交點的坐標數據；及

d2)規劃一第二垂直線，其中該第二垂直線垂直于該第一基準線并且通過該第二中心點，該第二垂直線與該第一元件的輪廓周緣相交至少二交點,該測量裝置經計算得出該二交點的坐標數據，并且該測量裝置記錄該二交點的坐標數據。