[發明專利]通過研磨帶研磨玻璃板等工件的周緣部的研磨裝置及方法

有效

• 申請號: 201310245364.1
• 申請日: 2013-06-17
• 公開（公告）號: CN103831705B
• 公開（公告）日: 2018-07-17
• 發明（設計）人: 宍戶光伸;山口直宏;佐藤覺;山崎亨
• 申請（專利權）人: 日本微涂料株式會社
• 主分類號: B24B37/00
• 分類號: B24B37/00;B24B37/34;B24B37/27
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳偉

1.一種研磨裝置，用于使用研磨帶對工件的周緣部進行研磨，其特征在于，包括：

第1研磨部，其對所述工件的周緣部的直線被研磨部分進行研磨，且具有水平的第1研磨軸線；和

第2研磨部，其對所述工件的周緣部的非直線被研磨部分進行研磨，且具有水平的第2研磨軸線，

所述第1研磨部包括：用于保持所述工件的第1工件單元，該第1工件單元包括用于保持所述工件的第1工件保持臺、和用于使所述第1工件保持臺沿所述第1研磨軸線擺動的擺動機構；和隔著所述第1研磨軸線與所述第1工件單元相對并用于配置第1研磨帶的至少一部分表面的第1研磨帶單元，

所述第2研磨部包括：用于保持所述工件的第2工件單元；和隔著所述第2研磨軸線與所述第2工件單元相對并用于配置第2研磨帶的至少一部分表面的第2研磨帶單元，

在所述第1研磨部中，所述配置的第1研磨帶的表面劃分出第1研磨面，所述直線被研磨部分和所述第1研磨面接觸地在所述第1研磨軸線上相對移動，由此進行研磨，

在所述第2研磨部中，所述配置的第2研磨帶的表面劃分出第2研磨面，所述非直線被研磨部分和所述第2研磨面接觸地在所述第2研磨軸線上相對移動，由此進行研磨。

2.如權利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，

所述工件由玻璃板構成，

在所述第1研磨部中，所述直線被研磨部分和所述第1研磨面相對移動，以使得所述玻璃板的周緣部的直線被研磨部分形成為，平均表面粗糙度Ra為200nm以下、且最大谷深Rv為20nm以下，

在所述第2研磨部中，所述非直線被研磨部分和所述第2研磨面相對移動，以使得所述玻璃板的周緣部的非直線被研磨部分形成為，平均表面粗糙度Ra為20nm以下、且最大谷深Rv為200nm以下。

3.如權利要求1或2所述的研磨裝置，其特征在于，

所述第2工件單元在水平的基座上具有：

X方向可動工作臺，其以能夠沿水平方向且沿與所述第2研磨軸線垂直的方向即X方向移動的方式設置；

Y方向可動工作臺，其為以能夠沿與所述第2研磨軸線平行的方向即Y方向移動的方式設置的Y方向可動工作臺，且一體地具有沿X方向伸長的槽部；和

第2工件保持臺，其通過一體地設置在所述X方向可動工作臺上的第1鉛垂軸而被能夠旋轉地水平支承，

所述第2工件保持臺具有第2鉛垂軸，該第2鉛垂軸為從該第2工件保持臺的表面垂直地伸長的第2鉛垂軸，且能夠滑動地位于所述Y方向可動工作臺的所述槽部內，

所述工件保持在所述第2工件保持臺上，

所述非直線被研磨部通過所述第1鉛垂軸及所述第2鉛垂軸的移動，邊進行擺頭運動邊沿所述第2研磨軸線擺動。

4.如權利要求1或2所述的研磨裝置，其特征在于，

所述第1研磨帶單元具有用于使所述第1研磨面沿水平方向且沿與所述第1研磨軸線垂直的方向移動的第1研磨帶移動機構，由此，所述直線被研磨部分和所述第1研磨面能夠在所述第1研磨軸線上抵接，

所述第2研磨帶單元具有用于使所述第2研磨面沿水平方向且沿與所述第2研磨軸線垂直的方向移動的第2研磨帶移動機構，由此，所述非直線被研磨部分的至少一部分和所述第2研磨面能夠在所述第2研磨軸線上抵接。

5.如權利要求1或2所述的研磨裝置，其特征在于，

所述第1研磨帶單元包括用于使所述第1研磨面的長度軸線相對于所述第1研磨軸線傾斜的第1傾斜機構，

所述第2研磨帶單元包括用于使所述第2研磨面的長度軸線相對于所述第2研磨軸線傾斜的第2傾斜機構。

6.如權利要求1或2所述的研磨裝置，其特征在于，

所述第1研磨帶單元包括用于使所述第1研磨面以所述第1研磨軸線為中心轉動的第1轉動機構，

所述第2研磨帶單元包括用于使所述第2研磨面以所述第2研磨軸線為中心轉動的第2轉動機構。

7.如權利要求1或2所述的研磨裝置，其特征在于，

所述第1工件單元包括用于使所述工件沿水平方向且沿與所述第1研磨軸線垂直的方向移動的工件移動機構。