[發(fā)明專利]一種工件臺安全防護裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310245119.0
• 申請日: 2013-06-19
• 公開（公告）號: CN104238273A
• 公開（公告）日: 2014-12-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳軍;張志鋼;袁志揚;江旭初;夏海
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種工件臺安全防護裝置，包括設(shè)置于工作平面上方的硅片臺和粗動臺，其特征在于，還包括設(shè)于所述工作平面四周的運動限位機構(gòu)以及固定于所述粗動臺上的防撞緩沖機構(gòu)，其中，

所述運動限位機構(gòu)包括X向限位機構(gòu)和Y向限位機構(gòu)，所述X向限位機構(gòu)和Y向限位機構(gòu)分別包括限位邊條、支撐導(dǎo)向機構(gòu)以及緩沖器，所述限位邊條固定于所述支撐導(dǎo)向機構(gòu)上，并沿X向或Y向運動，所述緩沖器固定于所述限位邊條上；

所述防撞緩沖機構(gòu)包括碰撞邊框以及彈性構(gòu)件，所述彈性構(gòu)件的兩端分別鉸接至所述碰撞邊框和所述粗動臺。

2.如權(quán)利要求1所述的工件臺安全防護裝置，其特征在于，所述支撐導(dǎo)向機構(gòu)包括至少兩個直線導(dǎo)軌以及固定于所述直線導(dǎo)軌的滑塊上的柔性簧片，所述限位邊條通過所述柔性簧片固定于所述直線導(dǎo)軌的滑塊上。

3.如權(quán)利要求2所述的工件臺安全防護裝置，其特征在于，所述柔性簧片的垂向為高剛性，水平向為低剛性。

4.如權(quán)利要求1所述的工件臺安全防護裝置，其特征在于，所述限位邊條的垂向高度與所述硅片臺重心的垂向高度相對應(yīng)。

5.如權(quán)利要求1所述的工件臺安全防護裝置，其特征在于，所述緩沖器為油壓式緩沖器、彈簧緩沖器或空氣緩沖器中的一種。

6.如權(quán)利要求1所述的工件臺安全防護裝置，其特征在于，所述碰撞邊框在X、Y向均伸出所述硅片臺的邊緣，且所述碰撞邊框的內(nèi)側(cè)與相對應(yīng)的粗動臺的外側(cè)之間的距離大于等于硅片臺的最大碰撞緩沖行程。

7.如權(quán)利要求1所述的工件臺安全防護裝置，其特征在于，所述防撞緩沖機構(gòu)通過上下兩個安裝板固定于所述粗動臺上。

8.如權(quán)利要求7所述的工件臺安全防護裝置，其特征在于，所述兩個安裝板與粗動臺之間還設(shè)有若干偏心調(diào)整機構(gòu)。

9.如權(quán)利要求1所述的工件臺安全防護裝置，其特征在于，所述碰撞邊框與所述限位邊條均采用碳纖維材料制成。

10.如權(quán)利要求9所述的工件臺安全防護裝置，其特征在于，所述碰撞邊框外側(cè)粘貼有一層彈性材料。

11.如權(quán)利要求10所述的工件臺安全防護裝置，其特征在于，所述彈性材料為聚氨酯或橡膠。

12.如權(quán)利要求1所述的工件臺安全防護裝置，其特征在于，所述彈性構(gòu)件的橫截面為矩形，且其高寬比大于1。

13.如權(quán)利要求1所述的工件臺安全防護裝置，其特征在于，所述彈性構(gòu)件采用形狀記憶合金制成。

14.如權(quán)利要求1至13中任一項所述的工件臺安全防護裝置，其特征在于，所述彈性構(gòu)件為16根，16根彈性構(gòu)件均布于所述硅片臺的四周，所述硅片臺每側(cè)的4根彈性構(gòu)件中，2根為預(yù)拉伸構(gòu)件，其余2根為未預(yù)拉伸構(gòu)件。