[發明專利]包括NFT和包覆層的裝置的間層

有效

• 申請號: 201310245104.4
• 申請日: 2013-06-19
• 公開（公告）號: CN103514898B
• 公開（公告）日: 2018-08-24
• 發明（設計）人: 趙彤;M·C·考茨基;M·A·西格勒;趙永軍;J·杰亞杉卡;黃曉岳
• 申請（專利權）人: 希捷科技有限公司
• 主分類號: G11B5/66
• 分類號: G11B5/66
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 錢慰民

本發明公開了包括NFT和包覆層的裝置的間層。一種裝置，其包括：近場換能器(NFT)；位于NFT附近的至少一個包覆層；以及位于NFT和至少一個包覆層之間的不連續金屬層。

背景

熱輔助磁記錄(在本文中稱其為“HAMR”)技術是一種將存儲密度增加至1T比特/英寸²以上的很有前途的方法。HAMR頭可利用近場換能器(NFT)來加熱磁記錄層。HAMR頭中的NFT材料和周圍結構的材料之間糟糕的粘附可能在處理或使用過程中導致故障。因此，仍然需要減少這些故障。

概述

披露了一種裝置，該裝置包括：近場換能器(NFT)；位于NFT附近的至少一個包覆層；以及位于NFT和至少一個包覆層之間的不連續金屬層。

另外披露了一種裝置，該裝置包括：能量源；配置成從能量源接收能量的近場換能器(NFT)；位于NFT附近的至少一個包覆層；以及位于NFT和至少一個包覆層之間的不連續金屬層。

還披露了一種裝置，該裝置包括：近場換能器(NFT)；位于NFT附近的前、后包覆層；以及位于NFT和前包覆層以及NFT和后包覆層之間的不連續金屬層。

附圖簡述

圖1是可包括HAMR裝置的磁盤驅動器的立體圖。

圖2是垂直的HAMR磁記錄頭和相關的記錄介質的橫截面圖。

圖3是包括所披露的不連續金屬層的磁性裝置的一部分的立體圖。

圖4示出當暴露于粘附測試時以潛在的不連續鋯層的厚度為函數的殘留金膜的百分比。

圖5A和5B示出在對沒有不連續金屬層(圖5A)和具有不連續Zr層(圖5B)的金NFT的下游化學機械拋光(CMP)加工之后的橫截面掃描電子顯微鏡(SAEM)圖像。

圖6A示出折射率(n)而圖6B示出在從400nm至1000nm的波長范圍中Zr不連續層/Au層膜疊層以退火溫度為函數的消光系數(κ)。

圖7A和圖7B是隨著多種Zr厚度的增加(圖7A)和在300℃下退火之后(圖7B)的Zr/Au膜疊層的θ～2θ掃描。

圖8A-8D示出在退火之前和之后沒有和具有不連續Zr層的150m Au膜的原子力顯微鏡(AFM)圖像。

圖9A和圖9B描繪出Zr厚度對Au(111)總數(圖9A)和Au顆粒尺寸(圖9B)的影響。

圖10A和圖10B示出在膜被加熱時沒有(圖10A)和具有(圖10B)所披露的不連續金屬層的Au膜中產生的熱應力。

圖11是示出在其附近具有多種厚度的不連續Zr膜的150nm厚Au膜的歸一化納米壓痕硬度的曲線圖。

這些附圖不一定按比例示出。附圖中所使用的相同數字表示相同組件。然而，應當理解，在給定附圖中使用數字表示組件并不旨在限制在另一附圖中用相同數字標記該組件。

詳細說明

在以下描述中，參照構成本說明書一部分的一組附圖，其中通過解說示出了若干具體實施例。應當理解，可構想并作出其他實施例而不背離本公開的范圍或精神。因此，以下詳細描述不具有限制性含義。

除非另有規定，否則在說明書和權利要求書中使用的表示特征大小、量和物理性質的所有數字應當理解為在任何情況下均由術語“大約”修飾。因此，除非相反地指出，否則在上述說明書和所附權利要求中闡述的數值參數是近似值，這些近似值可利用本文中公開的教示根據本領域技術人員所尋求獲得的期望性質而變化。

借由端點對數值范圍的陳述包括歸入該范圍內的所有數字（例如，1至5包括1、1.5、2、2.75、3、3.80、4和5）以及該范圍內的任何范圍。