[發明專利]固態成像元件

有效

• 申請號: 201310244660.X
• 申請日: 2013-06-19
• 公開（公告）號: CN104051475B
• 公開（公告）日: 2017-04-12
• 發明（設計）人: 涂宗儒;林宗澔;蕭玉焜
• 申請（專利權）人: 采鈺科技股份有限公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司72003
• 代理人: 張艷杰,張浴月

1.一種固態成像元件，包括：

一第一彩色濾光片區塊，具有從該第一彩色濾光片區塊的一底部表面至該第一彩色濾光片區塊的一頂部表面測量的一第一高度；

一第二彩色濾光片區塊，具有從該第二彩色濾光片區塊的一底部表面至該第二彩色濾光片區塊的一頂部表面測量的一第二高度；以及

一分隔物，設置于該第一彩色濾光片區塊與該第二彩色濾光片區塊之間，且具有從該分隔物的一底部表面至該分隔物的一頂部表面測量的一第三高度，其中該分隔物的折射率低于該第一彩色濾光片區塊的折射率，并且該分隔物的折射率也低于該第二彩色濾光片區塊的折射率，該第三高度小于該第一高度，并且該第三高度也小于該第二高度。

2.如權利要求1所述的固態成像元件，其中該第三高度為該第一高度的40-80％，并且該第三高度也為該第二高度的40-80％。

3.如權利要求1所述的固態成像元件，其中該分隔物具有一寬度范圍為0.08-0.2μm。

4.如權利要求1所述的固態成像元件，其中該第一彩色濾光片區塊和該第二彩色濾光片區塊各自包含一與該分隔物接觸的側向表面以及一上方部分位于該側向表面上方，而且該第一彩色濾光片區塊的該上方部分包含一傾斜表面，從該分隔物的該頂部表面朝向該第一彩色濾光片區塊的該頂部表面延伸，該第二彩色濾光片區塊的該上方部分包含一傾斜表面，從該分隔物的該頂部表面朝向該第二彩色濾光片區塊的該頂部表面延伸。

5.如權利要求4所述的固態成像元件，其中該第一彩色濾光片區塊的該傾斜表面與該分隔物的該頂部表面之間的角度為12-50度，并且該第二彩色濾光片區塊的該傾斜表面與該分隔物的該頂部表面之間的角度為12-50度。

6.如權利要求4所述的固態成像元件，其中該第一彩色濾光片區塊的該傾斜表面覆蓋該分隔物的該頂部表面的至少一部份，并且該第二彩色濾光片區塊的該傾斜表面覆蓋該分隔物的該頂部表面的至少一部份。

7.如權利要求4所述的固態成像元件，其中該第一彩色濾光片區塊的該傾斜表面以一角度與該分隔物的該頂部表面互切，并且該第二彩色濾光片區塊的該傾斜表面以一角度與該分隔物的該頂部表面互切，且其中該第一彩色濾光片區塊和該第二彩色濾光片區塊的所述多個傾斜表面不覆蓋該分隔物的該頂部表面。

8.如權利要求4所述的固態成像元件，其中該第一彩色濾光片區塊和該第二彩色濾光片區塊的所述多個傾斜表面完全覆蓋介于該第一彩色濾光片區塊和該第二彩色濾光片區塊之間的該分隔物的該頂部表面。

9.如權利要求4所述的固態成像元件，其中該第一彩色濾光片區塊和該第二彩色濾光片區塊的所述多個上方部分的剖面形狀包括凸面的半圓形、錐形或梯形。

10.一種固態成像元件，包括：

一半導體基底，包含多個圖像感測器；

一彩色濾光片，包含多個彩色濾光片區塊，設置于該半導體基底之上，其中所述多個彩色濾光片區塊各自包含一側向表面以及一上方部分設置于該側向表面上方；以及

多個分隔物，設置于所述多個彩色濾光片區塊之間，其中每一個該分隔物設置于任兩個相鄰的所述多個彩色濾光片區塊之間，每一個該分隔物的折射率低于所述多個彩色濾光片區塊的折射率，且其中該彩色濾光片區塊的該上方部分包含一傾斜表面，從該分隔物的一頂部朝向該彩色濾光片區塊的一頂部延伸。