[發(fā)明專利]洗滌裝置和洗滌方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310244298.6
• 申請日: 2013-06-19
• 公開（公告）號: CN103506238B
• 公開（公告）日: 2017-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 堀內(nèi)展雄
• 申請（專利權(quán)）人: 東麗工程株式會社
• 主分類號: B05B15/02
• 分類號: B05B15/02;B05C11/10;B05C5/00
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11127
• 代理人: 王小東

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及對用于向基板排出涂布液的管頭的唇進(jìn)行洗滌的洗滌裝置。

背景技術(shù)

液晶顯示器等平板顯示器、太陽能電池面板等上使用形成有像素、電路圖案等的基板，這樣的基板是通過例如涂布抗蝕劑液(涂布液)后進(jìn)行的光刻技術(shù)來制造。并且，作為將涂布液涂布在基板的裝置，已知的有具有管頭的涂布裝置，在其管頭內(nèi)部形成有狹縫。另外，在該管頭的下部形成有被稱之為唇的突出部，在該唇的前端開口有上述狹縫。通過該涂布裝置，通過使管頭相對于基板水平移動的同時從唇前端的開口排出涂布液，能夠在基板表面上形成涂布液的膜。

如果長時間連續(xù)進(jìn)行通過該涂布裝置的涂布作業(yè)，則涂布液的固化物或者混入于涂布液的被稱之為異物的粘著物粘著在唇前端和形成唇的面等上，這些粘著物影響涂布液的排出，會有發(fā)生涂布缺陷的顧慮。

在下述專利文獻(xiàn)1中記載有具有清掃部件的涂布裝置，該清掃部件用來清掃和去除該粘著物。該清掃部件具有與唇吻合的形狀，并且由高分子樹脂構(gòu)成，通過使該清掃部件在與唇抵接的狀態(tài)下向唇的長尺寸方向移動，由此將唇的粘著物擦拭而去除掉。

另外，在下述專利文獻(xiàn)2中記載有包括洗滌裝置的涂布裝置，該洗滌裝置用于洗滌去除粘著物。該洗滌裝置是積存洗滌液的槽，并且該槽具有超聲波振子。另外，使唇浸漬在槽內(nèi)的洗滌液的狀態(tài)下，通過使洗滌液產(chǎn)生超聲波振動來對唇進(jìn)行超聲波洗滌，能夠強(qiáng)有力地去除粘著物。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1

特開平9-187710號公報

專利文獻(xiàn)2

特愿2011-153903號公報

發(fā)明內(nèi)容

但是，上述專利文獻(xiàn)1中記載的清掃部件會存在不能完全去除粘著物的問題。具體而言，當(dāng)粘著物的量多的時候存在被擦拭的粘著物溢出在清掃部件的上方，存在在唇上以橫肋狀殘留的擔(dān)心。另外，當(dāng)粘著物被強(qiáng)力地粘著的時候，存在不能只用擦拭動作充分地去除粘著物的擔(dān)心。

另外，上述專利文獻(xiàn)2中記載的洗滌裝置存在成本高的問題。具體而言，為了對被浸漬在洗滌裝置的整個唇強(qiáng)有力地進(jìn)行超聲波洗滌，需要在洗滌裝置上配置多個超聲波振子，因此洗滌裝置本身的成本變高。另外，由于洗滌裝置的大小為管頭大小以上，因此通過洗滌裝置的配置涂布裝置的尺寸大幅增加，因此涂布裝置的制造成本也會增加。

本發(fā)明是鑒于上述問題而做出的，其目的在于提供一種洗滌裝置和洗滌方法，能夠強(qiáng)有力地去除粘著在唇上的粘著物，且能夠形成低廉的結(jié)構(gòu)。

為了解決上述課題，本發(fā)明的洗滌裝置，其特征在于，包括：洗滌單元，包括對向槽，其與形成有沿涂布裝置所具有的管頭的長尺寸方向形成的排出口的唇面相對而置，所述洗滌單元與該唇面接近；洗滌液供給口，其供給用于洗滌所述唇面的洗滌液；移動裝置，使所述洗滌單元和所述洗滌液供給口向所述長尺寸方向移動，并且，通過所述移動裝置使所述洗滌單元和所述洗滌液供給口向所述長尺寸方向移動的同時對所述唇面進(jìn)行洗滌，其中，所述洗滌單元包括超聲波振動部，在所述超聲波振動部上安裝有超聲波振子，并且形成有所述對向槽，通過使所述對向槽和所述唇面接近，并從所述洗滌液供給口向所述對向槽和所述唇面之間形成的間隙供給洗滌液，由此形成所述唇面被浸漬在洗滌液中的狀態(tài)，并在該狀態(tài)下通過所述超聲波振子使所述超聲波振動部產(chǎn)生超聲波振動，由此進(jìn)行對所述唇面的部分洗滌，進(jìn)而通過使所述洗滌單元和所述洗滌液供給口向所述長尺寸方向移動，由此所述唇面沿所述長尺寸方向被洗滌。

根據(jù)上述洗滌裝置，形成唇面被浸漬在洗滌液的狀態(tài)，并在該狀態(tài)下通過使超聲波振動部產(chǎn)生超聲波振動對唇面進(jìn)行洗滌，由此唇面被超聲波洗滌，因此能夠強(qiáng)有力地去除粘著在唇面上的粘著物。另外，通過將其結(jié)構(gòu)做成進(jìn)行唇面的部分洗滌的結(jié)構(gòu)，能夠使洗滌單元小型化，因此能夠減少超聲波振子的數(shù)量，能夠形成低成本的結(jié)構(gòu)。另外，通過使洗滌單元和洗滌液供給口向長尺寸方向移動來使唇面沿長尺寸方向被洗滌，由此即使使用上述的小型化的洗滌單元時也能夠洗滌整個唇面。

另外，優(yōu)選的是，作為與所述唇面相對而置的面的所述對向槽的對向面是與所述唇面平行的面。

這樣，能夠使對向槽和唇面的間隙整體變小，因此能夠用更少的洗滌液流量來形成唇面浸漬在洗滌液的狀態(tài)，并且，能夠更有效地對該洗滌液賦予洗滌單元的超聲波振動。另外，利用通過對向槽和唇面的間隙變小而產(chǎn)生的洗滌液的表面張力，連通過唇面形成的唇的根部都能用洗滌液覆蓋后進(jìn)行洗滌也會變得容易。

另外，優(yōu)選的是，所述洗滌單元包括具有所述洗滌液供給口的洗滌液供給部，所述洗滌液供給部與相當(dāng)于所述超聲波振子的振動波節(jié)的部分連接。