[發明專利]一種動壓浮離拋光方法

有效

• 申請號: 201310244152.1
• 申請日: 2013-06-18
• 公開（公告）號: CN103331652A
• 公開（公告）日: 2013-10-02
• 發明（設計）人: 樸鐘宇;徐釘;文東輝;王揚渝
• 申請（專利權）人: 浙江工業大學
• 主分類號: B24B1/00
• 分類號: B24B1/00
• 代理公司: 杭州斯可睿專利事務所有限公司 33241
• 代理人: 王利強

1.一種動壓浮離拋光方法，其特征在于：將粘貼有工件的基盤沿圓周方向制成有若干個傾斜平面的圓盤在液體中轉動時，通過液體楔產生液體動壓，使保持環中的工件浮離圓盤表面，通過浮動間隙的粉末顆粒對工件進行拋光。

2.如權利要求1所述的動壓浮離拋光方法，其特征在于：實現所述動壓浮離拋光方法的裝置包括機架、電容測距模塊，動壓盤浮離模塊，微動限位模塊和伺服微進給模塊；其中，

電容測距模塊是依靠嵌在主研磨盤上的三個電容傳感器實現的。電容傳感器利用位移量的變化使電容器的電容量發生變化，實現信號變換；

動壓盤浮離模塊中浮離拋光盤由安裝在滑臺上的轉軸帶動，拋光盤和滑臺底部安裝有設定預緊力的彈簧，拋光盤和轉軸采用間隙配合的花鍵連接，起到導向及傳遞扭矩的作用，當產生的動壓力超過時，拋光盤能沿著花鍵上下運動，實現動壓浮離拋光；

微動限位模塊中通過微動升降器與限位板將微位移傳遞給推力球軸承和限位軸套，使限位軸套克服其與電機連接軸的配合摩擦，產生垂直向下的微位移，減小其與主軸上端的間隙，實現微動限位功能。伺服微進給模塊通過伺服電機帶動聯軸器使絲杠進行轉動，使絲杠螺母上下運動，從而帶動滑臺上下平移，從而實現微進給。