[發明專利]一種多晶硅定向凝固裝置

有效

• 申請號: 201310242119.5
• 申請日: 2013-06-19
• 公開（公告）號: CN103409789A
• 公開（公告）日: 2013-11-27
• 發明（設計）人: 譚毅;張淑貴;任世強;張曉峰;姜大川
• 申請（專利權）人: 青島隆盛晶硅科技有限公司
• 主分類號: C30B11/00
• 分類號: C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06
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• 代理人: 暫無信息

1.一種多晶硅定向凝固裝置，包括爐體，連通有通氣管路（5）的上爐蓋（1）通過爐體外置的電動螺旋升降機構（4）安裝在爐體頂部，下爐蓋（3）通過螺紋連接在爐體底部，爐體內安置有坩堝（19），與下爐蓋（3）相連通的可旋轉升降水冷平臺機構(18)與坩堝(19)底固定連接，其特征在于爐體內坩堝（19）正上方安裝有上部加熱裝置，其包括安裝在爐壁上的上部水冷銅電極（17），還有安裝在爐內的依靠螺栓連接的上部石墨電極（16）和上部加熱器石墨環（15）；爐體內坩堝(19)壁外側安裝有中部加熱裝置，其包括石墨匯流器（14）和與其依靠螺栓連接的石墨加熱棒（13），石墨加熱棒（13）上端與石墨匯流器（14）相連，下端與扇形石墨分流器(12)相連；坩堝（19）和下爐蓋（3）之間安裝有下部加熱裝置，其包括安裝在爐內的下部石墨電極（10）和固定于下爐蓋（3）上的下部水冷銅電極（11），下部石墨電極（10）下端與下部水冷銅電極（11）相連，上端與扇形石墨分流器(12)相連；爐體內表面均設置有保溫層，其包括位于坩堝（19）正上方的上保溫蓋（6）、位于坩堝（19）外壁的側保溫桶（7）、位于坩堝（19）下的下保溫環（8）和下保溫蓋（9）。

2.權利要求1所述的一種多晶硅定向凝固裝置，其特征在于所述的坩堝（19）為石英坩堝。

3.權利要求1所述的一種多晶硅定向凝固裝置，其特征在于所述的上部加熱器石墨環（15）的內徑大于坩堝（19）內徑。

4.權利要求1或3所述的一種多晶硅定向凝固裝置，其特征在于所述的上部加熱器石墨環（15）為方形結構。

5.權利要求1所述的一種多晶硅定向凝固裝置，其特征在于所述的上部石墨電極（16）與側保溫桶（7）之間安裝有陶瓷套。

6.權利要求1所述的一種多晶硅定向凝固裝置，其特征在于所述的上部水冷銅電極（17）與爐體之間安裝有陶瓷套。

7.權利要求1所述的一種多晶硅定向凝固裝置，其特征在于所述的在上部水冷銅電極（17）與上部石墨電極（16）的連接端面設置有石墨碳紙。

8.權利要求1所述的一種多晶硅定向凝固裝置，其特征在于所述的下部石墨電極（10）與下部保溫環（8）之間安裝有陶瓷套。

9.權利要求1所述的一種多晶硅定向凝固裝置，其特征在于所述的下部水冷銅電極（11）與下爐蓋（3）之間安裝有陶瓷套。

10.權利要求1所述的一種多晶硅定向凝固裝置，其特征在于所述的下部水冷銅電極（11）與下部石墨電極（10）的連接端面設置有石墨碳紙。