[發明專利]一種掩膜板、OLED透明顯示面板及其制造方法

有效

• 申請號: 201310241839.X
• 申請日: 2013-06-18
• 公開（公告）號: CN103346271A
• 公開（公告）日: 2013-10-09
• 發明（設計）人: 崔子巍;吳昊;邢紅燕;薛靜;尹巖巖
• 申請（專利權）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L27/32;H01L51/52
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種掩膜板、OLED透明顯示面板及其制造方法。

背景技術

有機電激發光二極管(Organic?Light?Emitting?Diode，OLED)由于同時具備自發光，不需背光源、對比度高、厚度薄、視角廣、反應速度快、可用于曲性面板、使用溫度范圍廣、構造及制程較簡單等優異之特性，被認為是適用于下一代的平面顯示器的新興應用技術。

現有的OLED透明顯示面板的陰極，需經過兩次沉積才能實現各陰極的導通。如圖1所示，為現有技術制作OLED的陰極時所采用的掩膜板。在該掩膜板中，倒“T”形區域101為鏤空區域，用于形成OLED的陰極材料的區域。在使用該掩膜板沉積一次陰極后，需要將掩膜板移動一個特殊的偏移量，以第二次沉積陰極，進而形成如圖2所示陰極圖形，其中，各陰極之間需相互導通。

然而，由現有的OLED透明顯示面板的陰極布局可知，在制作工藝中，需兩次沉積才能實現陰極的導通(各陰極之間需相互重疊才能實現導通)。這樣工藝較復雜，費用相對較高，且陰極所占面積較大，導致開口率較小、透過率較低。

發明內容

本發明的實施例提供一種用于制備有機電激發光二極管(OLED)透明顯示面板的掩膜板、OLED透明顯示面板及其制造方法，能夠縮短陰極制作時間，降低成本。

為達到上述目的，本發明的實施例采用如下技術方案：

本發明實施例提供一種用于OLED透明顯示面板的掩膜板，包括襯底，設置于所述襯底上的多個鏤空區域和多個遮擋區域，所述鏤空區域圖案對應于OLED透明顯示面板的陰極圖案，各個所述鏤空區域之間相互連通。

所述鏤空區域的形狀為三角形、菱形、圓形或矩形。

本發明實施例提供一種OLED透明顯示面板，包括：

基板；

設置于所述基板上的陰極，所述陰極包括多個相互連通的陰極單元，所述陰極為使用具有上述任一掩膜板制作而成的。

所述陰極單元的形狀為三角形、菱形、圓形或矩形。

所述OLED透明顯示面板，還包括：

設置于所述基板上的第一傳輸層、發光層、第二傳輸層及陽極。

所述第一傳輸層或第二傳輸層為由阻擋層、注入層和傳輸層疊加而形成的多層結構。

所述發光層的材料為單一的有機物或摻雜的有機物。

所述摻雜的有機物為熒光材料或磷光材料。

本發明實施例提供了一種OLED透明顯示面板的制造方法，包括：

采用一次構圖工藝在基板上形成陰極，所述陰極包括多個相互連通的陰極單元。

所述采用一次構圖工藝在基板上形成陰極的方法具體包括：

在所述基板上形成陰極薄膜；

在所述陰極薄膜上形成光刻膠；

對所述光刻膠進行曝光，顯影后形成光刻膠保留區域和光刻膠去除區域，所述光刻膠保留區域對應于所述陰極；

刻蝕所述光刻膠去除區域對應的所述陰極薄膜，以形成所述陰極。

所述OLED透明顯示面板的制造方法，還包括：

在所述基板上形成第一傳輸層、發光層、第二傳輸層及陽極。

所述在所述基板上形成第一傳輸層、發光層、第二傳輸層及陽極的方法包括：

在所述基板上形成所述陽極；

采用化學氣相沉積、物理氣相沉積或旋涂的方法，在完成上述工藝的基板上形成第一傳輸層；

采用蒸鍍、旋涂或噴墨打印的方法，在完成上述工藝的基板上形成發光層；

采用化學氣相沉積、物理氣相沉積或旋涂的方法，在完成上述工藝的基板上形成第二傳輸層。

本發明還提供一種OLED透明顯示面板的制造方法，所述OLED透明顯示面板包括陰極，所述陰極采用上述任意一種的掩膜板形成，且所述陰極采用一次蒸鍍工藝形成，所述鏤空區域對應陰極區域。

具體的，所述OLED透明顯示面板的制作方法還包括：

在所述基板上形成第一傳輸層、發光層、第二傳輸層及陽極。

具體的，所述在所述基板上形成第一傳輸層、發光層、第二傳輸層及陽極的方法包括：

在所述基板上形成所述陽極；

采用化學氣相沉積、物理氣相沉積或旋涂的方法，在完成上述工藝的基板上形成第一傳輸層；

采用蒸鍍、旋涂或噴墨打印的方法，在完成上述工藝的基板上形成發光層；

采用化學氣相沉積、物理氣相沉積或旋涂的方法，在完成上述工藝的基板上形成第二傳輸層。