[發明專利]真空泵用電機及具有該真空泵用電機的真空泵

有效

• 申請號: 201310241596.X
• 申請日: 2013-06-18
• 公開（公告）號: CN103633776B
• 公開（公告）日: 2018-01-02
• 發明（設計）人: 小島善德;穂積崇史;吉田真也;稻田高典;中澤敏治
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: H02K7/14
• 分類號: H02K7/14;F04C25/02
• 代理公司: 上海市華誠律師事務所31210
• 代理人: 梅高強,劉煜

技術領域

本發明涉及一種真空泵用電機及具有該真空泵用電機的真空泵，尤其涉及一種在電機轉子的旋轉中心軸線方向上的兩側具有平衡環的真空泵用電機及具有該真空泵用電機的真空泵。

背景技術

例如，在半導體制造裝置等中，有時使用真空泵，安裝有作為驅動源的電機。作為這種真空泵所使用的電機，具有在泵主軸上直接連接有電機轉子的結構。如果是這種結構的電機，電機轉子被暴露在半導體制造工序中使用的腐蝕性氣體中。另一方面，為了保持真空(減壓)狀態，在電機定子和電機轉子之間裝配殼體，實現密封構造(參照專利文獻1)。

此外，電機轉子的轉子鐵心上，在旋轉中心軸線方向的兩端部設置有端環(參照專利文獻2)。該端環與轉子鐵心一起形成電感電路。但是，因為電機轉子是高速旋轉的，所以，存在旋轉不平衡時，較大的應力施加于泵主軸，泵主軸會產生撓曲。此外，還可能產生較大的振動。作為消除這種旋轉不平衡的方法，在泵主軸上安裝平衡環，去除一部分來取得平衡(參照專利文獻2)。

專利文獻1：日本特許第3443248號公報

專利文獻2：日本特開平11-27911號公報

即便是在電機轉子和電機定子之間安裝有殼體的情況下，電機轉子自身也如上述那樣地暴露在腐蝕性氣體中。因此，若不實施任何對策，電機轉子也會被腐蝕性氣體腐蝕。為了避免電機轉子的腐蝕，有時對電機轉子實施利用耐腐蝕性涂覆的表面處理，但是，當為只設有端環的電機時，為了消除上述的旋轉不平衡，去除端環的一部分來取得平衡。因此，所去除的部分的耐腐蝕性涂覆被去除，端環的去除部分被腐蝕。

另外，還考慮在對端環進行去除后進行耐腐蝕性涂覆。但是，因為所去除的部位(修正孔)的尺寸非常小，所以，所去除的部分也可能發生沒有形成均勻的耐腐蝕性涂覆的涂膜的情況。此外，即使在安裝有平衡環的情況下，若進行去除則和端環的情況一樣，不能消除耐腐蝕性涂覆的涂膜不均勻這一點。

發明內容

本發明是鑒于上述問題而做出的，第1技術方案中采用如下結構：一種電機，其為與真空泵的泵主軸直接連接的真空泵用的電機，其包括：電機轉子，該電機轉子直接地或間接地安裝于所述泵主軸；電機定子，該電機定子相對于所述泵主軸的旋轉中心軸線同心地固定于電機框架；以及兩個平衡環，所述平衡環具有截面呈L字型的形狀，所述平衡環分別包含第一部分和第二部分，所述第一部分沿所述泵主軸的旋轉中心軸線延伸且直接地或間接地與所述泵主軸接觸，所述第二部分沿與所述泵主軸垂直的方向延伸，且位于從轉子鐵心的兩端部離開的該轉子鐵心的兩側，所述平衡環包含具有耐腐蝕性的材料，在所述轉子鐵心的兩端部設置有端環，所述端環和所述平衡環之間，在沿著旋轉中心軸線的方向上形成有規定的間隙，并且在與旋轉中心軸線垂直的方向上形成有規定的間隙。

此外，第2技術方案中采用如下結構：所述平衡環的第一部分組裝在安裝于所述泵主軸的套筒上，所述轉子鐵心固定在所述套筒上。

此外，第3技術方案中采用如下結構：所述平衡環的第一部分的端部與所述轉子鐵心抵接，所述平衡環具有對所述轉子鐵心進行定位的作用。

此外，第4技術方案中采用如下結構：所述電機轉子的表面實施有耐腐蝕性涂覆的表面處理。

此外，第5技術方案中采用如下結構：一種真空泵，其具有技術方案1至4中任一項所述的電機。

發明效果：

根據本發明，能夠做成具有耐腐蝕性的電機轉子，并且，也能夠解決平衡修正的問題并提高性能。與此同時，通過在平衡環和端環之間設置軸向上的間隙，從而起到如下效果：可以避免與因熱膨脹而伸長的端環的干涉，能夠防止載荷施加在旋轉中心軸線方向上，能夠實現機械設計上的優勢。

附圖說明

圖1表示本發明一實施方式的電機的截面圖。

圖2是圖1所公開的電機中的一部分構成部件的立體圖。

圖3是表示具有圖1所公開的電機的真空泵的截面圖。

附圖符號說明：

20…真空泵；21…泵主軸；100…電機；110…電機定子；120…轉子；121…套筒；123…定子鐵心；125…端環；127…平衡環；130…殼體。

具體實施方式

下面，根據附圖，對本發明一實施方式進行說明。

整體概要：

首先，根據圖1及圖2，對本發明一實施方式的電機100進行說明。本實施方式的電機100旋轉驅動真空泵的轉子30(參照圖3)。電機100包括電機定子110、電機轉子120、以及電機框架140。