[發明專利]激光加工裝置

有效

• 申請號: 201310240803.X
• 申請日: 2013-06-18
• 公開（公告）號: CN103506758A
• 公開（公告）日: 2014-01-15
• 發明（設計）人: 能丸圭司
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B23K26/362
• 分類號: B23K26/362;B23K26/067;B23K26/08
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黨曉林;王小東

1.一種激光加工裝置，其特征在于，所述激光加工裝置具備：

卡盤工作臺，其用于保持被加工物，

激光光線照射構件，其用于對保持在所述卡盤工作臺的被加工物照射激光光線，所述激光光線照射構件包括：激光光線振蕩構件，其用于振蕩出激光光線；聚光器，其用于對由所述激光光線振蕩構件振蕩出的激光光線進行聚光，并使其照射到保持在所述卡盤工作臺的被加工物；以及激光光線分支機構，其配設在所述激光光線振蕩構件和所述聚光器之間，用于使由該激光光線振蕩構件振蕩出的激光光線分支成多條激光光線，以及

加工進給構件，其用于使所述卡盤工作臺和所述激光光線照射構件沿加工進給方向相對移動，

所述激光光線分支機構包括分支單元，該分支單元具有：1/2波長板，其用于使由所述激光光線振蕩構件振蕩出的激光光線的偏振面旋轉45度；第1偏振分光鏡，其用于將通過了所述1/2波長板的激光光線分離成P偏振光和S偏振光；第1反射鏡，其用于反射由所述第1偏振分光鏡分離得到的P偏振光；第2反射鏡，其用于反射由所述第1偏振分光鏡分離得到的S偏振光；第2偏振分光鏡，其用于將被所述第1反射鏡和所述第2反射鏡反射后的P偏振光和S偏振光引導至同一方向的光路；以及角度調整構件，其用于調整被所述第1反射鏡和所述第2反射鏡反射后的P偏振光和S偏振光中的至少一方的向所述第2偏振分光鏡入射的角度，

通過所述角度調整構件來調整被所述第1反射鏡和所述第2反射鏡反射后的P偏振光和S偏振光的向所述第2偏振分光鏡入射的角度，由此來調整被所述聚光器聚光的、由P偏振光和S偏振光構成的多條激光光線的聚光點的間隔。

2.根據權利要求1所述的激光加工裝置，

所述激光光線分支機構包括多個所述分支單元，通過了上游側的所述分支單元的P偏振光和S偏振光的偏振面被下一個所述分支單元的所述1/2波長板旋轉45度，P偏振光被進一步分支成P偏振光和S偏振光并被引導至所述聚光器，S偏振光被進一步分支成P偏振光和S偏振光并被引導至所述聚光器。