[發(fā)明專利]一種提高方阻均勻性的裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310240473.4
• 申請(qǐng)日: 2013-06-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103311373A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許文鳳;郭興剛;錢昆;賈靜;呂高龍;陳龍;張滿良;梁漢杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 奧特斯維能源（太倉(cāng)）有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18;H01L21/22;H01L31/042
• 代理公司: 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204
• 代理人: 劉燕嬌

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種提高方阻均勻性的裝置。

技術(shù)背景

隨著方阻阻值的升高，方阻片內(nèi)的擴(kuò)散均勻性會(huì)越來(lái)越差，目前在研究太陽(yáng)能電池片的過(guò)程中，發(fā)現(xiàn)是否能得到高效的太陽(yáng)能電池片主要難點(diǎn)是能否得到低表面濃度的高方阻，因此如何提高方阻的擴(kuò)散均勻性很有研究的意義。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明目的：本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種提高方阻均勻性的方法，該方法通過(guò)改變擴(kuò)散爐管內(nèi)進(jìn)氣球碗的結(jié)構(gòu)，提高了待擴(kuò)散物質(zhì)在擴(kuò)散爐管內(nèi)的均勻性，從而提高了方阻片內(nèi)的均勻性。

發(fā)明內(nèi)容：為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為：

一種提高方阻均勻性的裝置，包括位于擴(kuò)散爐管內(nèi)的進(jìn)氣球碗，所述進(jìn)氣球碗包括進(jìn)氣端、球碗部分和排氣端，所述進(jìn)氣端和球碗部分相互連通，所述排氣端呈U型，其一端端口封閉，另一端端口與所述球碗部分連接，在排氣端與球碗部分的連接處設(shè)有閥門，排氣端的側(cè)壁上設(shè)有孔。

其中，所述排氣端側(cè)壁上孔的個(gè)數(shù)為4個(gè)。

其中，所述排氣端具有兩個(gè)相對(duì)的側(cè)壁，4個(gè)孔位于其中一個(gè)側(cè)壁上，或分別位于兩個(gè)相對(duì)的側(cè)壁上。

其中，所述閥門與排氣端封閉一端端口的距離為15-20mm。

其中，所述進(jìn)氣球碗的長(zhǎng)度為200mm。

其中，所述進(jìn)氣端的長(zhǎng)度為31.5mm。

反應(yīng)原理：待擴(kuò)散物質(zhì)從進(jìn)氣端進(jìn)入進(jìn)氣球碗，在球碗部分混合均勻后，由于待擴(kuò)散物質(zhì)里含有氣體，氣體壓力將球碗部分與排氣端連接處的閥門打開(kāi)，并將待擴(kuò)散物質(zhì)經(jīng)過(guò)排氣端側(cè)壁上的孔均勻噴灑到擴(kuò)散爐管內(nèi)，在擴(kuò)散爐管內(nèi)形成均勻的氣流，待擴(kuò)散物質(zhì)在擴(kuò)散爐管內(nèi)的均勻性提高，從而實(shí)現(xiàn)了擴(kuò)散方阻片的高均勻性。待擴(kuò)散物質(zhì)為N₂、O₂和LN₂。

有益效果：相比于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的裝置通過(guò)改變擴(kuò)散爐管內(nèi)進(jìn)氣球碗的結(jié)構(gòu)，使待擴(kuò)散物質(zhì)在進(jìn)氣球碗中混合均勻再將混合均勻的待擴(kuò)散物質(zhì)均勻的噴灑到擴(kuò)散爐管內(nèi)，通過(guò)將待擴(kuò)散物質(zhì)在擴(kuò)散爐管內(nèi)的均勻性提高，從而實(shí)現(xiàn)了擴(kuò)散方阻片的高均勻性，本發(fā)明的裝置大大提高了方阻片內(nèi)的均勻性，即使是高方阻片，方阻片內(nèi)仍然可以保持高的均勻性。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明提供的提高擴(kuò)散方阻均勻性裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡明本發(fā)明，應(yīng)理解這些實(shí)施例僅用于說(shuō)明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍，在閱讀了本發(fā)明之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員對(duì)本發(fā)明的各種等價(jià)形式的修改均落于本申請(qǐng)所附權(quán)利要求所限定的范圍。

如圖1所示，一種提高方阻均勻性的裝置，包括位于擴(kuò)散爐管內(nèi)的進(jìn)氣球碗5，所述進(jìn)氣球碗5包括進(jìn)氣端1、球碗部分2和排氣端3，所述進(jìn)氣端1和球碗部分2相互連通，所述排氣端3呈U型，其一端端口封閉，另一端端口與所述球碗部分2連接，在排氣端3與球碗部分2的連接處設(shè)有閥門4，排氣端的側(cè)壁上設(shè)有孔，排氣端3側(cè)壁上孔的個(gè)數(shù)為4個(gè)，排氣端3具有兩個(gè)相對(duì)的側(cè)壁，4個(gè)孔可以開(kāi)在其中一個(gè)側(cè)壁上，也可以分別開(kāi)在兩個(gè)相對(duì)的側(cè)壁上，所述閥門4與排氣端3封閉的一端距離為15～20mm，進(jìn)氣球碗5的長(zhǎng)度為200mm，進(jìn)氣端1的長(zhǎng)度為31.5mm。

反應(yīng)原理：待擴(kuò)散物質(zhì)從進(jìn)氣端1進(jìn)入進(jìn)氣球碗5，在球碗部分2混合均勻后，由于待擴(kuò)散物質(zhì)里含有氣體，氣體壓力將球碗部分2與排氣端3連接處的閥門4打開(kāi)，并將待擴(kuò)散物質(zhì)經(jīng)過(guò)排氣端3側(cè)壁上的孔均勻噴灑到擴(kuò)散爐管內(nèi)，在擴(kuò)散爐管內(nèi)形成均勻的氣流，待擴(kuò)散物質(zhì)在擴(kuò)散爐管內(nèi)的均勻性提高，從而實(shí)現(xiàn)了擴(kuò)散方阻片的高均勻性。待擴(kuò)散物質(zhì)為N₂、O₂和LN₂。

本發(fā)明的裝置通過(guò)改變擴(kuò)散爐管內(nèi)進(jìn)氣球碗的結(jié)構(gòu)，使待擴(kuò)散物質(zhì)在進(jìn)氣球碗中混合均勻再將混合均勻的待擴(kuò)散物質(zhì)均勻的噴灑到擴(kuò)散爐管內(nèi)，通過(guò)將待擴(kuò)散物質(zhì)在擴(kuò)散爐管內(nèi)的均勻性提高，實(shí)現(xiàn)了擴(kuò)散方阻片的高均勻性。本發(fā)明的裝置大大提高了方阻片內(nèi)的均勻性，即使是高的方阻片，方阻片內(nèi)仍然可以保持高均勻性。