[發(fā)明專利]晶圓透鏡聚合體的制造方法及晶圓透鏡聚合體

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310240076.7
• 申請(qǐng)日: 2009-04-08
• 公開（公告）號(hào): CN103323893A
• 公開（公告）日: 2013-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 岡崎直子;細(xì)江秀;齋藤正
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 柯尼卡美能達(dá)精密光學(xué)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G02B3/00
• 分類號(hào): G02B3/00;B29D11/00
• 代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 許海蘭

本申請(qǐng)是申請(qǐng)?zhí)枮?00980114461.9（PCT/JP2009/057185）、申請(qǐng)日為2009年4月8日（遞交日為2010年10月22日）、發(fā)明名稱為“晶圓透鏡聚合體的制造方法及晶圓透鏡的制造方法”的發(fā)明專利申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。?

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓透鏡聚合體的制造方法及晶圓透鏡的制造方法。?

背景技術(shù)

在光學(xué)透鏡的制造領(lǐng)域中，以往，技術(shù)探討了在玻璃平板上設(shè)置用熱固化性樹脂等固化性樹脂形成的透鏡部（光學(xué)部件），由此得到耐熱性高的光學(xué)透鏡（例如請(qǐng)參照專利文獻(xiàn)1）。?

作為應(yīng)用該技術(shù)開發(fā)的一種光學(xué)透鏡的制造方法，其中，在玻璃平板表面形成由金屬膜構(gòu)成的調(diào)整入射光量的光闌，進(jìn)一步在光闌的表面設(shè)多個(gè)由固化性樹脂形成的光學(xué)部件形成所謂的“晶圓透鏡”。然后，在多個(gè)透鏡一體化的狀態(tài)下墊入隔離件，使隔離件碰到和光學(xué)面一起形成的突出部重疊并粘結(jié)，形成多組透鏡，然后切開玻璃平板。這種制造方法能夠降低光學(xué)透鏡的制造成本。?

先行技術(shù)?

專利文獻(xiàn)?

專利文獻(xiàn)1：特許第3926380號(hào)公報(bào)?

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明欲解決的課題?

但是，將晶圓透鏡疊成多層制造晶圓透鏡聚合物時(shí)，必須在玻璃平板之間墊入隔離件，由該隔離件支撐上下晶圓透鏡，并且調(diào)整上下位置上的光學(xué)部件之間的配置位置。此時(shí)，隔離件必須用光固化性樹?脂粘結(jié)劑等粘結(jié)在光闌表面。通常，光闌由不透過(guò)粘結(jié)劑固化用光的金屬膜形成，所以，存在在光闌表面不能粘結(jié)隔離件之問(wèn)題（這里說(shuō)明的是玻璃平板的情況，但塑料平板及透明的陶瓷平板的情況都相同，下面對(duì)玻璃平板的情況作說(shuō)明，但本發(fā)明并不局限于玻璃，也包括塑料和陶瓷等其他的透明平板）。?

當(dāng)在構(gòu)成晶圓透鏡的一個(gè)基板上接合其他晶圓透鏡基板，而該其他晶圓透鏡基板上預(yù)先形成了用來(lái)調(diào)整與上述一個(gè)基板之間隔的部件時(shí)，也同樣存在上述問(wèn)題。?

本發(fā)明鑒于上述情況，目的在于提供一種晶圓透鏡聚合體的制造方法及晶圓透鏡的制造方法，其中能夠可靠地粘結(jié)晶圓透鏡和隔離件等其他基板。?

用來(lái)解決課題的手段?

上述課題通過(guò)下述解決。一種晶圓透鏡聚合體的制造方法，晶圓透鏡聚合體備有：第1基板，其具有正面和反面，在所述正面和反面的至少一個(gè)面上設(shè)固化性樹脂的多個(gè)光學(xué)部件；第2基板，被接合在所述第1基板的正面或反面；光闌部件，被設(shè)置在所述第1基板和所述第2基板之間，對(duì)所述光學(xué)部件調(diào)整入射光量；所述第1基板和所述第2基板通過(guò)光固化性樹脂粘結(jié)劑接合，晶圓透鏡聚合體制造方法的特征在于，備有下述各工序：粘結(jié)劑涂布工序，在所述第1基板的與所述第2基板接合的接合部上或所述第2基板的與所述第1基板接合的接合部上涂布光固化性樹脂粘結(jié)劑；光闌部件形成工序，在所述第1基板和所述第2基板之間形成光闌部件；光固化工序，在所述光闌部件形成工序之后，對(duì)在所述粘結(jié)劑涂布工序涂布的粘結(jié)劑照射光，使所述粘結(jié)劑的固化進(jìn)展；其中，所述光闌部件被形成在不妨礙所述光固化工序照射的光到達(dá)所述粘結(jié)劑的位置上。?

另外，通過(guò)下述解決。一種晶圓透鏡的制造方法，晶圓透鏡是在具有正面和反面的基板的一面上設(shè)多個(gè)固化性樹脂的第1光學(xué)部件，在另一面上設(shè)多個(gè)固化性樹脂的第2光學(xué)部件，在所述基板的正面或反面上在各個(gè)所述第1或第2光學(xué)部件中設(shè)光闌部件，晶圓透鏡制造方法的特征在于，備有下述各工序：在所述基板的所述一面上形成調(diào)?準(zhǔn)標(biāo)志；在相對(duì)所述調(diào)準(zhǔn)標(biāo)志定位具有所述第1光學(xué)部件成型面的第1成型模具的狀態(tài)下，在所述第1成型模具和所述基板之間充填所述固化性樹脂，使之固化成型所述第1光學(xué)部件；在所述基板的正面或反面上形成光闌部件；在相對(duì)所述調(diào)準(zhǔn)標(biāo)志定位具有所述第2光學(xué)部件成型面的第2成型模具的狀態(tài)下，在所述第2成型模具和所述基板之間充填所述固化性樹脂，使之固化成型所述第2光學(xué)部件；其中，由形成所述光闌部件的工序形成的光闌部件，被形成在不妨礙相對(duì)所述調(diào)準(zhǔn)標(biāo)志定位所述第1或第2成型模具的位置上。?