[發明專利]驅動裝置及位移傳遞組件

有效

• 申請號: 201310239691.6
• 申請日: 2013-06-17
• 公開（公告）號: CN103278924A
• 公開（公告）日: 2013-09-04
• 發明（設計）人: 黃磊;鞏馬理;閆平;柳強;張海濤;孫冶
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G02B26/06
• 分類號: G02B26/06
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 宋合成;黃德海

技術領域

本發明涉及精密儀器設計制造技術領域，特別涉及一種位移傳遞組件及具有該位移傳遞組件的驅動裝置。

背景技術

變形鏡，又稱變形反射鏡，主要運用于各種自適應光學系統之中，作為波前校正器件校正波前誤差，在自適應光學系統中起著極其重要的作用，是自適應光學系統中的重要部件之一，變形鏡的研究和發展關系到整個自適應光學系統的校正能力和校正精度。

變形反射鏡式通過改變自己表面面形來補償波前相位畸變，可分為連續表面形和分立表面兩種類型.連續表面變形鏡，其優點是可以得到連續的面形，校正精度高，其缺點是面形的變形量比較小。連續表面的變形反射鏡又可分為整體致動和分立致動兩種。整體致動主要有雙壓電變形鏡和薄模變形鏡，其特點是當控制電壓作用于某一致動單元時，整個反射鏡面都將產生變形，這類變形鏡主要用于與曲率波前傳感器配合校正波前畸變的低階模式部分。分立致動變形鏡的一個特點是當控制電壓作用于一個致動器時，只有該致動器相鄰區域產生局部變形。其中致動方向平行于鏡面時，致動器作用于反射鏡邊緣，只能用于校正離焦和像散等特定像差，因此在自適應光學系統里的應用受到了局限。致動方向垂直于鏡面的連續表面變形鏡可以校正各階像差，而且能達到很高的校正精度，因此成為自適應光學系統中應用最廣的一種波前校正器。

發明內容

本發明旨在至少在一定程度上解決上述技術問題之一或至少提供一種有用的商業選擇。為此，本發明的一個目的在于提出一種調節精度高的位移傳遞組件。

根據本發明實施例的位移傳遞組件，包括：座體、推進器、彈性件和致動器。具體而言，所述座體內具有致動通道；所述推進器設在所述致動通道內的第一端，且所述推進器的一部分伸出所述致動通道；所述彈性件分別與所述推進器和所述座體相連且所述彈性件具有常推動所述推進器向所述致動通道內移動的力；所述致動器設在所述致動通道內，且所述致動器與所述推進器接觸。

根據本發明實施例的位移傳遞組件，通過致動器推動推進器向第一方向移動，彈性件推動推進器向第二方向移動，推進器可以推動鏡體向正方向或負方向移動，可以快速精確的調節推進器的傳遞給鏡體的位移量，提高了位移傳遞組件的精度和快速性。

另外，根據本發明上述實施例的位移傳遞組件，還可以具有如下附加的技術特征：

根據本發明的一個實施例，所述座體包括：基座、前罩板和后罩板。具體而言，所述基座內具有通孔；所述前罩板配合設在所述基座上，且所述前罩板上設有與所述通孔的第一端連通的開口，所述開口與所述通孔配合形成所述致動通道，所述開口的尺寸小于所述通孔的尺寸；所述后罩板設在所述基座上并封閉所述通孔的第二端。由此，使座體的結構簡單，便于安裝和成型，提高了位移傳遞組件的成型效率。座體上致動通道內的配件僅需前罩板、基座和后罩板）封裝而成，做到整體安裝化。

根據本發明的一個實施例，所述推進器包括滑塊和與所述滑塊相連的推桿，所述滑塊可滑動地配合在所述通孔內，且所述推桿穿出所述開口。由此，將推進器分為兩部分，使其可以穩定的移動，避免推進器從所述致動通道內脫出，提高了位移傳遞組件的穩定性。

根據本發明的一個實施例，所述彈性件為彈片，所述彈片分別與所述滑塊和所述前罩板的內壁面接觸。由此，使彈性件的結構簡單，便于成型和安裝，提高了組件的成型和裝配效率。

根據本發明的一個實施例，所述彈片為環繞所述推桿的環形。由此，使推進器穩定移動，提高了位移傳遞組件的精度和穩定性。

根據本發明的一個實施例，所述后罩板上設有與所述后罩板通過螺紋連接的微調旋鈕，所述微調旋鈕抵壓所述致動器。由此，可以對致動器的位置進行微調，可以降低位移傳遞組件的制作精度，降低成本且提高生產效率，且還可以提高位移傳遞組件的適用范圍，提高性能。

根據本發明的一個實施例，所述前罩板和所述后罩板分別焊接在所述基座上。由此，使座體的結構簡單，便于生產，且提高了座體的結構強度。

根據本發明的一個實施例，所述致動通道為多個，且多個所述致動通道在所述座體上排列成多行和多列。由此，提高致動通道的分布密度，提高了對變形鏡的調節精度。

根據本發明實施例的驅動裝置，包括：框體和位移傳遞組件。具體而言，所述位移傳遞組件為多個，且多個所述位移傳遞組件分別設在所述框體上，其中所述位移傳遞組件為根據本發明前述實施例所述的位移傳遞組件。

根據本發明實施例的驅動裝置，在框體上設有多個位移傳遞組件，進一步地使驅動裝置的驅動點密集，提高了致動的精度和穩定性，且可適用于口徑大的變形鏡。而且框體上的位移傳遞組件的數量可調節，提高了驅動裝置的使用范圍。