[發明專利]一體化連續生產薄膜的裝置及制膜方法

有效

• 申請號: 201310239651.1
• 申請日: 2013-06-17
• 公開（公告）號: CN103311371A
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發明（設計）人: 汪浩;鄭慧娟;栗曉辰;孫玉繡;劉晶冰;嚴輝;朱滿康
• 申請（專利權）人: 北京工業大學
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司 11203
• 代理人: 張慧

1.一體化連續生產薄膜的裝置，其特征在于，主要包括送液裝置（1）、電磁控制閥（2、4）、鍍膜裝置、電磁轉向閥（7）、儲液裝置（5）、機械泵（6）、廢液裝置（8）、傳送裝置、轉軸（10）、加熱裝置以及連接各部件的管道；鍍膜裝置包括：鍍膜裝置上蓋（301）、鍍膜裝置箱體（302）、進液口（304）、循環進液口（305），鍍膜裝置箱體的兩端均有開口和相應的鍍膜裝置倉門（303）（兩個），鍍膜裝置倉門303可將兩端的開口封閉；傳送裝置包括：傳送帶（901）、可固定襯底（903）的夾具（902），夾具（902）固定在傳送帶（901）上；加熱裝置包括：烘干箱（1101）、與烘干箱（1101）并排的退火箱（1103）、退火箱（1103）內的載物臺（1105），烘干箱兩端設有開口并有相應的烘干箱倉門1102（兩個），烘干箱倉門可將烘干箱兩端的開口的封閉，烘干箱（1101）與退火箱（1103）之間開有通口并有相應的退火箱倉門（1104），退火箱倉門可將烘干箱（1101）與退火箱（1103）之間的通口封閉；送液裝置的底部與鍍膜裝置的進液口連接，鍍膜裝置箱體（302）的底端設有出液口與儲液裝置（5）連通，儲液裝置（5）底端設有出水口與機械泵（6）的一端相連，機械泵（6）的另一端通過電磁轉向閥（7）與鍍膜裝置的循環進液口（305）連接形成循環回路，電磁轉向閥（7）的第三端與廢液裝置（8）連接，在鍍膜裝置和儲液裝置之間有電磁控制閥（4），送液裝置（1）與鍍膜裝置的進液口（2）；傳送帶（901）能夠通過鍍膜裝置箱體兩端的開口將固定有襯底（903）的夾具（902）送至鍍膜裝置箱體（302）內，傳送帶（901）經轉軸（10）導向從烘干箱的開口進入烘干箱內，從烘干箱另一開口出來的傳送帶（901）直接進入鍍膜裝置的開口，形成循環的傳送帶（901）。

2.按照權利要求1的裝置，其特征在于，送液裝置、鍍膜裝置、儲液裝置、廢液裝置以及加熱裝置都固定不動。

3.按照權利要求1的裝置，其特征在于，儲液裝置的底部為平底、錐底或圓底結構。

4.按照權利要求1的裝置，其特征在于，儲液裝置的底部為錐底結構，在錐底處設計有一直徑為15mm±1mm的出水口。

5.按照權利要求1的裝置，其特征在于，轉軸（10）為兩叉狀，在兩叉端均安裝有滑輪，兩滑輪之間的距離d大于夾具、襯底，可使夾具、襯底從叉間通過。

6.采用權利要求1的裝置進行鍍膜的方法，其特征在于，包括以下步驟：

（1）傳送帶（901）將襯底（903）置于鍍膜裝置箱體（302）內，關閉鍍膜裝置的兩個倉門（303），打開電磁控制閥（2），使送液裝置（1）中的鍍液進入鍍膜裝置箱體（302）內直至浸沒襯底（903）；

（2）打開電磁控制閥（4）使鍍膜裝置箱體（302）的鍍液滴入儲液裝置（5）中，從而使鍍膜裝置箱體（302）的液面不斷下降對襯底（903）進行鍍膜；

（3）傳送帶（901）將步驟（2）的襯底送至烘干箱（1101），關閉烘干箱倉門1102（兩個）和退火箱倉門（1104）進行烘干；

（4）開啟機械泵（6）使儲液裝置（5）中的鍍液從循環進液口（305）進入鍍膜裝置箱體（302），不斷循環鍍膜和烘干，直到達到所需厚度；

（5）烘干結束后，卸載夾具（902）并打開退火箱倉門（1104），將襯底（903）推入退火箱中的載物臺（1105）上，再關閉退火箱倉門（1104），由真空泵（1106）對退火箱進行抽真空，并在退火箱中完成退火。

7.按照權利要求6的方法，其特征在于，所述電磁控制閥（2）、（4）控制液體的流速使每分鐘液面下降1-20cm。

8.按照權利要求6的方法，其特征在于，所述傳送帶（901）運行的速度由數字電腦控制，其運行速度為每分鐘0-100cm，即運行或暫停。

9.按照權利要求6的方法，其特征在于，所述傳送帶（901）貫穿鍍膜裝置和加熱裝置，形成環狀結構。

10.按照權利要求6的方法，其特征在于，所述加熱裝置溫度及時間的設定由電腦控制，烘干箱（1101）溫度為100-180℃，退火箱（1103）溫度為200-600℃，退火時間為10-120min。