[發(fā)明專利]信號(hào)線傾斜角測(cè)量方法及裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310238959.4
• 申請(qǐng)日: 2013-06-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103309066A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭文達(dá)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/13
• 分類號(hào): G02F1/13;G01B11/26
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44300
• 代理人: 刁文魁;唐秀萍

1.一種信號(hào)線傾斜角測(cè)量方法，其特征在于：所述方法包括以下步驟：

將待測(cè)量基板設(shè)置于承載平臺(tái)上，所述待測(cè)量基板包括信號(hào)線，所述信號(hào)線包括與所述待測(cè)量基板平行的上表面以及位于所述上表面一側(cè)的外側(cè)面；

提供一光源，控制光源旋轉(zhuǎn)并發(fā)射光線以照射所述信號(hào)線外側(cè)面，其中所述旋轉(zhuǎn)以所述信號(hào)線的長(zhǎng)度方向?yàn)檩S、繞所述信號(hào)線的外側(cè)面進(jìn)行；

在所述光源旋轉(zhuǎn)過(guò)程中，實(shí)時(shí)的獲取所述光源的旋轉(zhuǎn)角度以及對(duì)應(yīng)所述旋轉(zhuǎn)角度的光線強(qiáng)度，其中所述光線強(qiáng)度為經(jīng)所述外側(cè)面反射后的光線的強(qiáng)度；以及

獲取所述光線強(qiáng)度最大值所對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角度，并根據(jù)所述光線強(qiáng)度最大值所對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角度生成信號(hào)線傾斜角。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的信號(hào)線傾斜角測(cè)量方法，其特征在于：控制光源旋轉(zhuǎn)并發(fā)射光線以照射所述信號(hào)線外側(cè)面時(shí)，是以所述信號(hào)線的長(zhǎng)度方向?yàn)檩S，從所述信號(hào)線的外側(cè)面與上表面的交匯處開(kāi)始順時(shí)針進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，并旋轉(zhuǎn)至所發(fā)射的光線與所述信號(hào)線上表面平行為止。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的信號(hào)線傾斜角測(cè)量方法，其特征在于：所述光源的旋轉(zhuǎn)角度為所述光線相對(duì)所述信號(hào)線上表面垂直線的旋轉(zhuǎn)角度，所述信號(hào)線上表面垂直線垂直于所述信號(hào)線上表面；而在獲取所述光線強(qiáng)度最大值所對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角度后，所述光線強(qiáng)度最大值所對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角度即為所述信號(hào)線傾斜角。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的信號(hào)線傾斜角測(cè)量方法，其特征在于：獲取所述光線強(qiáng)度最大值所對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角度的步驟包括：

對(duì)所獲取的光線強(qiáng)度一一進(jìn)行對(duì)比，獲取所述光線強(qiáng)度最大值；以及

匹配與所述光線強(qiáng)度最大值對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的信號(hào)線傾斜角測(cè)量方法，其特征在于：通過(guò)光線傳感器獲取從所述光源射出、并經(jīng)所述信號(hào)線外側(cè)面反射后的光線強(qiáng)度。

6.一種信號(hào)線傾斜角測(cè)量裝置，其特征在于：包括：

承載平臺(tái)，用于承載待測(cè)量基板，其中所述待測(cè)量基板包括信號(hào)線，所述信號(hào)線包括與所述待測(cè)量基板平行的上表面以及位于所述上表面一側(cè)的外側(cè)面；

光源，用于發(fā)射光線；

控制單元，用于控制光源旋轉(zhuǎn)并發(fā)射光線以照射所述信號(hào)線外側(cè)面，其中所述旋轉(zhuǎn)以所述信號(hào)線的長(zhǎng)度方向?yàn)檩S、繞所述信號(hào)線的外側(cè)面進(jìn)行；

角度記錄單元，用于在所述光源旋轉(zhuǎn)過(guò)程中，記錄所述光源的旋轉(zhuǎn)角度；

光線強(qiáng)度獲取單元：用于接收經(jīng)所述信號(hào)線外側(cè)面反射后的光線，并根據(jù)接收到的光線生成光線強(qiáng)度；以及

結(jié)果生成單元：用于獲取光線強(qiáng)度中的最大值，并獲取該最大值所對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角度，并根據(jù)獲取的旋轉(zhuǎn)角度生成信號(hào)線傾斜角。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的信號(hào)線傾斜角測(cè)量裝置，其特征在于：

所述控制單元在控制所述光源旋轉(zhuǎn)并發(fā)射光線以照射所述信號(hào)線外側(cè)面時(shí)，是以所述信號(hào)線的長(zhǎng)度方向?yàn)檩S，從所述信號(hào)線的外側(cè)面與上表面的交匯處開(kāi)始順時(shí)針進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，并旋轉(zhuǎn)至所發(fā)射的光線與所述信號(hào)線上表面平行為止。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的信號(hào)線傾斜角測(cè)量裝置，其特征在于：所述光源的旋轉(zhuǎn)角度為所述光線相對(duì)所述信號(hào)線上表面垂直線的旋轉(zhuǎn)角度，所述信號(hào)線上表面垂直線垂直于所述信號(hào)線上表面；而在所述結(jié)果生成單元獲取所述光線強(qiáng)度最大值所對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角度后，所述光線強(qiáng)度最大值所對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角度即為所述信號(hào)線傾斜角。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的信號(hào)線傾斜角測(cè)量裝置，其特征在于：所述結(jié)果生成單元在獲取所述光線強(qiáng)度最大值所對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角度時(shí)，進(jìn)一步的用于對(duì)所獲取的光線強(qiáng)度一一進(jìn)行對(duì)比，獲取所述光線強(qiáng)度最大值，并匹配與所述光線強(qiáng)度最大值對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角度。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的信號(hào)線傾斜角測(cè)量裝置，其特征在于：所述光線強(qiáng)度獲取單元為光線傳感器，所述光線傳感器用于獲取從所述光源射出、并經(jīng)所述信號(hào)線外側(cè)面反射后的光線強(qiáng)度。