[發明專利]一種化學機械粉體材料合成系統

無效

• 申請號: 201310237492.1
• 申請日: 2013-06-17
• 公開（公告）號: CN104226222A
• 公開（公告）日: 2014-12-24
• 發明（設計）人: 趙懷周
• 申請（專利權）人: 趙懷周
• 主分類號: B01J19/08
• 分類號: B01J19/08;B22F9/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于合成納米粉末的化學機械合成系統或者裝置，該裝置可以用來合成高質量熱電材料。該裝置主要有以下部分組成：

(1)核心部分是兩個相互接觸的材料靶材A和B，如裝置圖所示。靶材A與電動驅動裝置1連接，可以高速轉動，同時可以以一定速度向靶材B移動。靶材B被固定在基座14上，B的下方有加熱裝置4，用來控制B的溫度。與B連接有熱電偶控溫裝置5。

(2)在靶材B的下方周圍，有樣品接受槽6，AB靶材摩擦反應的生成物會落入接受槽，隨后被收集。

(3)以上裝置被固定于一個真空腔體2中，腔體有蓋3可以打開。電動驅動裝置1與蓋3連接在一起，1可以全部也可以部分位于真空腔體。真空腔體2可以是不銹鋼，鋁合金，或者其它有一定機械強度的材料。

(4)有真空泵7和氣壓表8與腔體連接，用以控制腔體內真空度和氣壓。

(5)腔體壁上有兩個氣流口，分別是氣體入口9和出口10，可以控制腔體內部氣體氣氛。

(6)腔體側面有合成產物粉末導出出口11。

(7)腔體側面有視窗窗口12和視窗擋板13，用來觀測核心部件運行狀況。

2.如權利要求1所述，其特征在于，所述部件(1)中，AB兩個相互接觸的靶材材料可以為金屬、陶瓷、其它無機化合物和高分子材料。

3.如權利要求1所述，其特征在于，所述部件(1)中，AB靶材、電動裝置1、固定基座14和加熱控溫裝置4和5可以按照立式方式放置，也可以按照水平方式在腔體內2放置。其它部件位置可隨之調整。

4.如權利要求1所述，其特征在于，所述部件(3)中，真空腔體2可以為金屬，玻璃或者其它有一定機械強度的材料。

5.如權利要求1所述，其特征在于，所述部件(4)和(5)中，腔體具有一定氣壓和氣氛控制功能。

6.如權利要求1所述，其特征在于，所述部件(6)中，腔體具有產物導出出口11。

7.如權利要求1所述，其特征在于，所述部件(7)中，腔體具有視窗12，可以觀察反應狀況。