[發明專利]變形鏡中間式水冷散熱機構

無效

• 申請號: 201310237076.1
• 申請日: 2013-06-14
• 公開（公告）號: CN103278925A
• 公開（公告）日: 2013-09-04
• 發明（設計）人: 黃磊;鞏馬理;閆平;柳強;張海濤;閆海波
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 賈玉姣;宋合成

技術領域

本發明涉及變形鏡領域，尤其是涉及一種變形鏡中間式水冷散熱機構。

背景技術

變形鏡，又稱變形反射鏡，主要運用于各種自適應光學系統之中，作為波前校正器件校正波前誤差，在自適應光學系統中起著極其重要的作用，是自適應光學系統中的重要部件之一，變形鏡的研究和發展關系到整個自適應光學系統的校正能力和校正精度。

但現在使用的變形鏡機構也有其設計局限性，當所要處理的激光對其工作面進行照射時，變形鏡的致動元件就會被少部分的殘余激光照射而迅速升溫，使基座連同各配件產生膨脹甚至使致動元件受損失效。甚至微小的溫度波動也會影響變形鏡面的形變量。

發明內容

本發明旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。為此，本發明的一個目的在于提出一種可保證鏡體的形變量不受溫度浮動的影響的變形鏡中間式水冷散熱機構。

根據本發明實施例的變形鏡中間式水冷散熱機構，包括：鏡體；熱沉，所述熱沉內設有用于盛放冷卻液的盛放槽，所述熱沉上設有與所述盛放槽連通的進水口和出水口，所述熱沉位于所述鏡體的正下方；致動元件，所述致動元件上設有多個致動腿，所述多個致動腿分別穿過所述熱沉與所述鏡體的下表面接觸以通過控制每個致動腿的致動量控制所述鏡體的形變量；兩個水接頭，所述兩個水接頭分別與所述進水口和所述出水口連通。

根據本發明實施例的變形鏡中間式水冷散熱機構，通過設有熱沉，穿過鏡體的激光的熱量會被熱沉中的冷卻液吸收，且熱傳導效率高，避免了致動元件被該穿過鏡體的激光照射而影響致動元件的工作性能，從而該變形鏡中間式水冷散熱機構中的鏡體的形變量不受溫度浮動的影響，提高了變形鏡的穩定性，且該變形鏡中間式水冷散熱機構結構簡單。

另外，根據本發明的變形鏡中間式水冷散熱機構還具有如下附加技術特征：

具體地，所述熱沉包括：本體，所述本體的上表面上設有蜿蜒延伸的盛放槽；頂蓋，所述頂蓋設在所述本體上以封閉所述盛放槽，所述本體和所述頂蓋上設有多個依次貫穿所述本體和所述頂蓋的通孔，所述多個通孔分別與所述多個致動腿配合。從而使得熱沉結構簡單，且蜿蜒延伸的盛放槽可提高冷卻液的儲存量，進而提高熱沉的散熱效果。

進一步地，所述頂蓋形成為波浪形狀。從而可提高熱沉與激光的接觸面積，使激光和熱沉的接觸更充分，以提高熱量的吸收量。

可選地，所述頂蓋形成為鋸齒波形。

具體地，每個所述通孔的直徑略大于相應的所述致動腿的直徑。從而保證熱沉不與致動腿接觸，進而避免由于致動腿與熱沉產生摩擦而造成致動量的反饋計算不準確，且可保證冷卻液在熱沉中流動產生的震動不傳遞給鏡體。

在本發明的一些實施例中，所述鏡體的下表面設有多個連接腿，所述多個連接腿分別與所述多個致動腿相連。從而便于鏡體與致動元件之間的裝配。

可選地，所述進水口和所述出水口設在所述熱沉的相對側壁上。

在本發明的一些實施例中，每個所述水接頭包括：第一筒體，所述第一筒體裝配在相應的所述進水口或所述出水口上；第二筒體，所述第二筒體從所述第一筒體的一端向外延伸，所述第二筒體的內徑小于所述第一筒體的內徑；環形凸起，所述環形凸起設在所述第二筒體的鄰近所述第一筒體的一端上。從而可提高水接頭與相應的進水口或出水口之間的密封性。

可選地，每個所述水接頭為一體成型件。從而便于水接頭的加工成型。

優選地，所述熱沉為金屬件。從而可利于熱量的傳導，且不容易腐蝕。

本發明的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發明的實踐了解到。

附圖說明

本發明的上述和/或附加的方面和優點從結合下面附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1為根據本發明一個實施例的變形鏡中間式水冷散熱機構的示意圖；

圖2為圖1所示的變形鏡水冷散熱機構的剖面圖；

圖3為圖1所示的變形鏡中間式水冷散熱機構的分解示意圖；

圖4為根據本發明實施例的變形鏡中間式水冷散熱機構中的熱沉的本體裝配有水接頭時的示意圖；

圖5為根據本發明另一個實施例的變形鏡中間式水冷散熱機構的示意圖。

附圖標記：

變形鏡中間式水冷散熱機構100、鏡體1、熱沉2、盛放槽20、進水口21、出水口22、本體23、頂蓋24、通孔25、致動元件3、致動腿30、水接頭4、第一筒體40、第二筒體41、環形凸起42、連接腿5

具體實施方式