[發(fā)明專利]變形鏡整體式水冷散熱機構

有效

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• 申請日: 2013-06-14
• 公開（公告）號: CN103278923A
• 公開（公告）日: 2013-09-04
• 發(fā)明（設計）人: 黃磊;鞏馬理;閆平;邱運濤;柳強;張海濤
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G02B26/06
• 分類號: G02B26/06
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 賈玉姣;宋合成

技術領域

本發(fā)明涉及變形鏡領域，尤其是涉及一種變形鏡整體式水冷散熱機構。

背景技術

變形鏡，又稱變形反射鏡，主要運用于各種自適應光學系統(tǒng)之中，作為波前校正器件校正波前誤差，在自適應光學系統(tǒng)中起著極其重要的作用，是自適應光學系統(tǒng)中的重要部件之一，變形鏡的研究和發(fā)展關系到整個自適應光學系統(tǒng)的校正能力和校正精度。

但現(xiàn)在使用的變形鏡機構也有其設計局限性，當所要處理的激光對其工作面進行照射時，變形鏡的致動元件就會被少部分的殘余激光照射而迅速升溫，使基座連同各配件產生膨脹甚至使致動元件受損失效。甚至微小的溫度波動也會影響變形鏡面的形變量。

發(fā)明內容

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術中存在的技術問題之一。為此，本發(fā)明的一個目的在于提出一種可保證鏡體的形變量不受溫度浮動的影響的變形鏡整體式水冷散熱機構。

根據(jù)本發(fā)明實施例的變形鏡整體式水冷散熱機構，包括：熱沉，所述熱沉內設有用于盛放冷卻液且頂部敞開的盛放槽，所述熱沉上設有與所述盛放槽連通的進水口和出水口，所述熱沉上設有多個鏡腿，每個所述鏡腿在豎直方向穿設在所述熱沉上；鏡體，所述鏡體設在所述熱沉的頂部以封閉所述盛放槽，且所述鏡體的下表面與每個所述鏡腿的上表面相連；致動元件，所述致動元件上設有多個致動腿，所述多個致動腿分別與所述多個鏡腿的下表面連接以通過控制每個所述致動腿的致動量控制所述鏡體的形變量；兩個水接頭，所述兩個水接頭分別與所述進水口和所述出水口連通。

根據(jù)本發(fā)明實施例的變形鏡整體式水冷散熱機構，通過設有熱沉，穿過鏡體的激光的熱量會被熱沉中的冷卻液吸收，且熱傳導效率高，避免了致動元件被該穿過鏡體的激光照射而影響致動元件的工作性能，從而該變形鏡整體式水冷散熱機構中的鏡體的形變量不受溫度浮動的影響，提高了變形鏡的穩(wěn)定性，且該變形鏡整體式水冷散熱機構結構簡單。

另外，根據(jù)本發(fā)明的變形鏡整體式水冷散熱機構還具有如下附加技術特征：

根據(jù)本發(fā)明的一些實施例，所述鏡體的下表面上設有多個連接腿，多個所述連接腿分別與多個所述鏡腿相連。從而便于鏡體與多個鏡腿裝配。

進一步地，變形鏡整體式水冷散熱機構還包括多個連接頭，每個所述連接頭分別設在所述連接腿的下表面和所述鏡腿的上表面之間。從而進一步便于鏡體裝配在熱沉上。

在本發(fā)明的一些實施例中，變形鏡整體式水冷散熱機構還包括固定框，所述固定框設在所述熱沉上，且所述固定框的一部分的下表面與所述鏡體的上表面接觸。從而通過設有固定框可提高鏡體與熱沉之間的密封性，避免盛放槽內冷卻液的泄露。

進一步地，所述熱沉上設有定位孔，所述固定框上設有與所述定位孔配合的定位凸起。從而便于固定框固定在熱沉上。

根據(jù)本發(fā)明的一些實施例，所述盛放槽形成為從所述熱沉的上表面向下凹入的方形凹槽。從而可增加冷卻液的儲存量，提高變形鏡整體式水冷散熱機構的散熱性，進一步保證變形鏡不受溫度浮動的影響。

進一步地，所述熱沉的上表面的環(huán)繞且臨近所述盛放槽的一部分向下凹入形成為方形裝配孔，所述鏡體裝配在所述方形裝配孔內。從而進一步便于鏡體裝配在熱沉上。

優(yōu)選地，所述鏡體的上表面與所述熱沉的上表面平齊。

可選地，所述熱沉為金屬件。從而有利于熱的傳導。

在本發(fā)明的一些實施例中，每個所述水接頭包括：第一筒體，所述第一筒體裝配在相應的所述進水口或所述出水口上；第二筒體，所述第二筒體從所述第一筒體的一端向外延伸，所述第二筒體的內徑小于所述第一筒體的內徑；環(huán)形凸起，所述環(huán)形凸起設在所述第二筒體的鄰近所述第一筒體的一端上。從而可提高水接頭與相應的進水口或出水口之間的密封性。

本發(fā)明的附加方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實踐了解到。

附圖說明

本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點從結合下面附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1為根據(jù)本發(fā)明實施例的變形鏡整體式水冷散熱機構的示意圖；

圖2為圖1所示的變形鏡整體式水冷散熱機構的內部示意圖；

圖3為圖1所示的變形鏡整體式水冷散熱機構的分解示意圖；

圖4為根據(jù)本發(fā)明實施例的變形鏡整體式水冷散熱機構中的熱沉的示意圖。

附圖標記：

變形鏡整體式水冷散熱機構100、熱沉1、盛放槽10、進水口11、

出水口12、鏡腿13、定位孔14、方形裝配孔15、鏡體2、致動元件3、