[發(fā)明專利]一種光束能量回收利用的方法及系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310236451.0
• 申請日: 2013-06-14
• 公開（公告）號: CN103308493A
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳周令;陳堅(jiān);吳令奇;黃明
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥知常光電科技有限公司
• 主分類號: G01N21/63
• 分類號: G01N21/63
• 代理公司: 合肥天明專利事務(wù)所 34115
• 代理人: 金凱

1.一種光束能量回收利用的方法，其特征在于：

（1）、對于高能量反射率的樣品，即反射型樣品的光束能量回收利用的方法，具體包括以下步驟：

a、泵浦光光束照射到聚焦透鏡上，然后第一次穿過聚焦透鏡的光束會聚到樣品表面的輻照點(diǎn)，其中大部分光能量被樣品表面反射；

b、樣品表面反射的光束第二次穿過聚焦透鏡，然后經(jīng)過泵浦光反射裝置反射；

c、由泵浦光反射裝置反射的光束第三次照射到聚焦透鏡上，然后穿過聚焦透鏡的光束再次會聚到樣品表面的輻照點(diǎn)，與第一次經(jīng)過聚焦透鏡會聚到樣品表面上的輻照點(diǎn)重合，并再次被樣品表面反射并第四次穿過聚焦透鏡，依次重復(fù)上述步驟，光束不停地在樣品和泵浦光反射裝置之間反射傳輸，直至反射光束的能量不足以引起樣品上輻照點(diǎn)的光束輻照強(qiáng)度為止；

（2）、對于高能量透射率的樣品，即透射型樣品的光束能量回收利用的方法，具體包括以下步驟：

a、泵浦光光束照射到前聚焦透鏡上，然后第一次穿過前聚焦透鏡的光束會聚到樣品前表面的輻照點(diǎn)，其中大部分激光能量從樣品后表面透射；

b、透射出的光束第一次經(jīng)過后聚焦透鏡，經(jīng)過后聚焦透鏡的激光光束經(jīng)后泵浦光反射裝置反射；

c、由后泵浦光反射裝置反射的光束第二次經(jīng)過后聚焦透鏡，然后穿過后聚焦透鏡的光束從樣品后表面入射到樣品前表面的輻照點(diǎn)；

d、從樣品前表面出射的光束第二次經(jīng)過前聚焦透鏡，然后經(jīng)前泵浦光反射裝置反射；

e、前泵浦光反射裝置反射的光束第三次經(jīng)過前聚焦透鏡并會聚到樣品前表面的處理點(diǎn)，依次重復(fù)以上步驟，光束不停地在前泵浦光反射裝置和后泵浦光反射裝置之間對樣品進(jìn)行輻照處理，直至反射光束的能量不足以引起樣品上輻照點(diǎn)的光束輻照強(qiáng)度為止。

2.一種光束能量回收利用的系統(tǒng)，其特征在于：包括有相對樣品表面設(shè)置泵浦光反射裝置和設(shè)置于泵浦光反射裝置和樣品之間的聚焦透鏡。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種光束能量回收利用的系統(tǒng)，其特征在于：所述的反射裝置為一組，圍成一圈排列，其軸心與聚焦透鏡的圓心重合。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種光束能量回收利用的系統(tǒng)，其特征在于：所述的反射裝置包括有相對透射型樣品或反射型樣品前表面設(shè)置的前泵浦光反射裝置和相對透射型樣品后表面設(shè)置的后泵浦光反射裝置，所述的聚焦透鏡包括有設(shè)置于透射型樣品和前泵浦光反射裝置之間、或反射型樣品和前泵浦光反射裝置之間的前聚集透鏡和設(shè)置于透射型樣品和后泵浦光反射裝置之間的后聚集透鏡。