[發明專利]一種不銹鋼工件低溫低壓離子滲氮方法及其裝置

有效

• 申請號: 201310233825.3
• 申請日: 2013-06-13
• 公開（公告）號: CN103305786A
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發明（設計）人: 湯金剛;劉道新;唐長斌;于首明;張曉化;杜東興
• 申請（專利權）人: 西北工業大學
• 主分類號: C23C8/38
• 分類號: C23C8/38
• 代理公司: 西北工業大學專利中心 61204
• 代理人: 慕安榮

1.一種不銹鋼工件低溫低壓離子滲氮方法；其特征在于，具體操作步驟是：

步驟1、工件表面的預處理；所述工件的表面預處理包括對工件表面的機械預處理、工件表面除油和超聲清洗；

步驟2、滲氮處理；將工件放置在試樣平臺上，通過輔助陰極鈦板將工件完全覆蓋；將陰極輔助鈦板懸掛于真空室內且與工件表面有10～30mm間距；將輔助陰極鈦板與直流電源的負極連接；將滲氮真空室的氣壓抽至低于5Pa后，通入流量為20sccm的Ar氣和流量為80sccm的N2氣并保持氣體流量恒定至滲氮處理結束；調節滲氮真空室氣壓至10～60Pa并保持恒定至滲氮處理結束；

滲氮開始后，調節直流電源電壓參數至200～400V，脈沖電源電壓參數至500～800V，脈沖頻率至10KHz，脈沖電源占空比至20%～100%并保持至滲氮處理結束；當滲氮工件的滲氮溫度由室溫升至300～500℃開始保溫，保溫時間為6～48h，對工件進行滲氮；得到低溫低壓離子滲氮處理的不銹鋼工件。

2.一種用于權利要求1所述不銹鋼工件低溫低壓離子滲氮方法的裝置，其特征在于，包括絕緣掛桿、滲氮真空室、陰極輔助鈦板、直流電源、試樣平臺和脈沖電源；其中，絕緣掛桿、陰極輔助鈦板和試樣平臺均位于滲氮真空室內，并且試樣平臺安裝在滲氮真空室位于底座的通孔上，一端伸出所述滲氮真空室底座；所述試樣平臺與滲氮真空室的底座之間絕緣密封；絕緣掛桿安裝在滲氮真空室的頂板上，陰極輔助鈦板安裝在絕緣掛桿的下端；所述陰極輔助鈦板與試樣平臺的位置相互對應；在滲氮真空室底座上有進氣孔和抽氣孔。

3.入權利要求2所述一種用于不銹鋼工件低溫低壓離子滲氮的裝置，所述絕緣掛桿的上端和下端均有掛孔，該掛孔的中心線垂直于所述絕緣掛桿的中心線。