[發明專利]一種用于金屬有機化學氣相沉積反應器的管道冷卻式氣體分布裝置

有效

• 申請號: 201310233117.X
• 申請日: 2013-06-13
• 公開（公告）號: CN103334092A
• 公開（公告）日: 2013-10-02
• 發明（設計）人: 羅才旺;魏唯;陳特超;羅宏洋
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113
• 代理人: 馬強;李發軍

1.一種用于金屬有機化學氣相沉積反應器的管道冷卻式氣體分布裝置，包括位于反應腔室（103）上方的氣體噴射板（210），該氣體噴射板（210）上方設有氣體連接板（216），在所述氣體噴射板（210）與氣體連接板（216）之間設有至少三個層疊的氣體分布板（212、214、215）；其特征在于，在所述氣體噴射板（210）與最下層的氣體分布板（212）之間、相鄰兩層氣體分布板之間均設置有冷卻液管道（211、213、217、218）；所述氣體連接板（216）上設置有若干氣體接口（202、203、206）、測量儀安裝窗口（205）以及與所述冷卻液管道（211、213、217、218）連通的冷卻液進出口（201、207），且所述氣體噴射板（210）、氣體分布板（212、214、215）、氣體連接板（216）疊加在一起后形成若干相互獨立的氣體通道（303c、307c、305c），該氣體通道包括第一前體氣體通道（307）、第二前體氣體通道（303）和載氣通道（305）；所述氣體噴射板（210）的上側面、氣體連接板（216）的下側面以及各氣體分布板（212、214、215）的上、下側面均設有用于容納冷卻液管道（211、213、217、218）的兩個凹槽（308a，301b、302b），兩個凹槽（308a）之間通過狹縫（305e）隔開，在所述凹槽（308a，301b、302b）內冷卻液管道折彎水平布置；所述測量儀安裝窗口（205）內設有與氣體接口連通的狹縫（305e）；所述氣體連接板（216）和各氣體分布板（212、214、215）上均設有冷卻液管道安裝通孔。

2.根據權利要求1所述的用于金屬有機化學氣相沉積反應器的管道冷卻式氣體分布裝置，其特征在于，所述氣體分布板（212、214、215）有三塊。

3.根據權利要求1或2所述的用于金屬有機化學氣相沉積反應器的管道冷卻式氣體分布裝置，其特征在于，所述凹槽（308a，301b、302b）的橫截面為半圓形，半圓形的弦與所述狹縫（305e）共線。

4.根據權利要求1或2所述的用于金屬有機化學氣相沉積反應器的管道冷卻式氣體分布裝置，其特征在于，所述冷卻液管道（211、213、217、218）的數量為1-16根。

5.根據權利要求4所述的用于金屬有機化學氣相沉積反應器的管道冷卻式氣體分布裝置，其特征在于，當冷卻液管道為多根時，多根冷卻液管道（211、213、217、218）為相互獨立的冷卻通道。

6.根據權利要求1或5所述的用于金屬有機化學氣相沉積反應器的管道冷卻式氣體分布裝置，其特征在于，所述冷卻液管道與氣體噴射板（210）、氣體連接板（216）、氣體分布板（212、214、215）之間的連接采用真空擴散焊接連接或真空熔焊連接或與所述凹槽定位連接。

7.根據權利要求1或2所述的用于金屬有機化學氣相沉積反應器的管道冷卻式氣體分布裝置，其特征在于，所述凹槽（308a，301b、302b）的橫截面為半橢圓形或多邊形。

8.根據權利要求1或2所述的用于金屬有機化學氣相沉積反應器的管道冷卻式氣體分布裝置，其特征在于，所述測量儀安裝窗口（205）安裝有晶片翹曲度測量探頭。