[發(fā)明專利]一種物體表面三維形貌的測(cè)量方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310232350.6
• 申請(qǐng)日: 2013-06-13
• 公開（公告）號(hào): CN103424085A
• 公開（公告）日: 2013-12-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝惠民;劉戰(zhàn)偉;李傳崴
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 清華大學(xué)
• 主分類號(hào): G01B11/24
• 分類號(hào): G01B11/24;G01B11/25
• 代理公司: 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201
• 代理人: 羅文群

1.一種物體表面三維形貌的測(cè)量方法，其特征在于該方法包括如下步驟：

（1）在被測(cè)物體表面制作出光柵；

（2）將表面帶有光柵的物體放入掃描電鏡的試樣臺(tái)上，調(diào)節(jié)掃描線數(shù)和工作距離，得到物體表面形貌圖，記錄物體表面形貌圖中云紋條數(shù)最少時(shí)的掃描電鏡的放大倍數(shù)M和掃描電鏡的等效投射距離R，并拍攝物體表面的云紋圖像；

（3）使掃描電鏡的試樣臺(tái)傾斜角度，并通過(guò)調(diào)整試樣臺(tái)的水平位置，在掃描電鏡顯示器中得到與試樣臺(tái)傾斜前相一致的觀測(cè)區(qū)域，拍攝傾斜角度下的物體表面的云紋圖像；

（4）分別對(duì)上述云紋圖像進(jìn)行插值處理，分別得到與兩幅云紋圖像相對(duì)應(yīng)的位移場(chǎng)，分別記作u和u'；

（5）根據(jù)上述位移場(chǎng)u和u'，利用下述公式可得到被測(cè)物體的高度h：

其中M是測(cè)量時(shí)掃描電鏡的放大倍數(shù)，R是掃描電鏡的等效投射距離，是掃描電鏡試樣臺(tái)的傾斜角度。