[發(fā)明專利]背離率的計算方法和二次離子質(zhì)譜分析方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310232003.3
• 申請日: 2013-06-09
• 公開（公告）號: CN104237279B
• 公開（公告）日: 2017-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 史江北;李震遠;鄭曉剛;李愛民;劉競文
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G01N23/225
• 分類號: G01N23/225
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)31237
• 代理人: 屈蘅,李時云

1.一種背離率的計算方法，用于檢測離子注入工藝參數(shù)，其特征在于，包括：

提供待測樣品和標(biāo)準(zhǔn)樣品，并將所述待測樣品和標(biāo)準(zhǔn)樣品整合在同一坐標(biāo)系中，所述待測樣品和標(biāo)準(zhǔn)樣品皆為離子注入后獲取的二次離子質(zhì)譜分析坐標(biāo)圖像；

在保證區(qū)域面積和曲率不變的情況下，對所述待測樣品和標(biāo)準(zhǔn)樣品進行高斯平滑處理；

將處理后的待測樣品和標(biāo)準(zhǔn)樣品做點對點除法處理，得到擬合曲線；

在所述擬合曲線中限定可用區(qū)域，結(jié)合由所述待測樣品和標(biāo)準(zhǔn)樣品所決定的噪音區(qū)域、離子注入濃度相差最大的區(qū)域，包括至少95％的離子注入量及所述擬合曲線的縱坐標(biāo)可用值限定可用區(qū)域；

由所述可用區(qū)域獲得所述背離率，在所述可用區(qū)域中定義點a、b、c，分別計算a、b兩點和b、c兩點的斜率，并取絕對值最大的一個斜率的絕對值作為背離率；

其中，在所述背離率小于等于1時，所述背離率與離子注入角度偏差成正比。

2.如權(quán)利要求1所述的背離率的計算方法，其特征在于，所述點對點除法處理為同一橫坐標(biāo)所對應(yīng)的待測樣品的縱坐標(biāo)除以標(biāo)準(zhǔn)樣品的縱坐標(biāo)。

3.如權(quán)利要求1所述的背離率的計算方法，其特征在于，所述擬合曲線的縱坐標(biāo)值可用值的范圍為0.55～1.45。

4.如權(quán)利要求1所述的背離率的計算方法，其特征在于，將所述可用區(qū)域沿橫坐標(biāo)方向三等分分為三個區(qū)域，對每個區(qū)域中的所有點的坐標(biāo)取平均值，分別得到a、b、c三點的坐標(biāo)。

5.一種二次離子質(zhì)譜分析方法，其特征在于，包括：

由如權(quán)利要求1～4任一項所述的方法算得背離率；

定義所述背離率的限值；

由所述背離率和所述待測樣品和標(biāo)準(zhǔn)樣品的離子注入劑量偏差判斷二次離子質(zhì)譜數(shù)據(jù)是否合格。

6.如權(quán)利要求5所述的二次離子質(zhì)譜分析方法，其特征在于，所述背離率的限值為0.96。

7.如權(quán)利要求5所述的二次離子質(zhì)譜分析方法，其特征在于，所述待測樣品和標(biāo)準(zhǔn)樣品的離子注入劑量偏差的限值為3％。

8.如權(quán)利要求5所述的二次離子質(zhì)譜分析方法，其特征在于，所述判斷二次離子質(zhì)譜數(shù)據(jù)是否合格包括：

若所述待測樣品和標(biāo)準(zhǔn)樣品的離子注入劑量偏差大于限值，則二次離子質(zhì)譜數(shù)據(jù)不合格，離子注入情況存在異常；

若所述待測樣品和標(biāo)準(zhǔn)樣品的離子注入劑量偏差小于等于限值，背離率大于限值，則二次離子質(zhì)譜數(shù)據(jù)不合格，離子注入情況存在異常；

若所述待測樣品和標(biāo)準(zhǔn)樣品的離子注入劑量偏差小于等于限值，背離率小于等于限值，則二次離子質(zhì)譜數(shù)據(jù)合格。

9.如權(quán)利要求5所述的二次離子質(zhì)譜分析方法，其特征在于，在將所述待測樣品和標(biāo)準(zhǔn)樣品整合在同一坐標(biāo)系中之前，還包括：檢測所述標(biāo)準(zhǔn)樣品的可靠性。

10.如權(quán)利要求9所述的二次離子質(zhì)譜分析方法，其特征在于，檢測所述標(biāo)準(zhǔn)樣品的可靠性包括：

將與所述標(biāo)準(zhǔn)樣品來自同一標(biāo)準(zhǔn)片產(chǎn)生的之前任一合格樣品進行比較，判斷所述標(biāo)準(zhǔn)樣品和所述合格樣品的離子注入劑量偏差，若所述標(biāo)準(zhǔn)樣品和所述合格樣品的離子注入劑量偏差小于等于1％，則認可所述標(biāo)準(zhǔn)樣品，反之，調(diào)用另一標(biāo)準(zhǔn)樣品進行該操作，直至所述標(biāo)準(zhǔn)樣品被認可。