[發明專利]金屬柵極晶體管的形成方法

有效

• 申請號: 201310231964.2
• 申請日: 2013-06-09
• 公開（公告）號: CN104241131B
• 公開（公告）日: 2017-08-25
• 發明（設計）人: 劉煥新
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: H01L21/336
• 分類號: H01L21/336;H01L21/28
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種金屬柵極晶體管的形成方法，其特征在于，包括：

提供襯底；

在所述襯底正面上形成偽柵極；

在所述襯底正面上形成第一層間介質層，對所述第一層間介質層進行平坦化直至露出所述偽柵極；

去除所述偽柵極以形成溝槽；

形成金屬柵極疊層，覆蓋所述第一層間介質層并填充所述溝槽，對所述金屬柵極疊層進行平坦化以在所述溝槽內形成金屬柵極；

形成所述金屬柵極之后，對所述襯底正面進行邊緣清潔處理，以使襯底側壁至預定距離的環形區域上的金屬柵極疊層被去除；

對所述襯底正面進行邊緣清潔處理包括：

固定所述襯底，使所述襯底背面朝上、正面朝下；

向所述襯底背面噴灑清洗液，噴灑出來的部分清洗液流向襯底正面邊緣。

2.根據權利要求1所述的形成方法，其特征在于，所述清洗液為氫氟酸溶液。

3.根據權利要求2所述的形成方法，其特征在于，所述氫氟酸溶液的質量百分比濃度為1％至49％。

4.根據權利要求3所述的形成方法，其特征在于，所述進行邊緣清潔處理的工藝參數包括：清洗時間為2至4min，清洗液的流速為1至2L/min，清洗溫度為室溫。

5.根據權利要求1所述的形成方法，其特征在于，向所述襯底背面噴灑清洗液的同時，向所述襯底正面吹惰性氣體。

6.根據權利要求5所述的形成方法，其特征在于，所述惰性氣體為氮氣。

7.根據權利要求5所述的形成方法，其特征在于，所述惰性氣體的流速為100至200L/min。

8.根據權利要求1所述的形成方法，其特征在于，所述預定距離大于等于3mm。

9.根據權利要求1所述的形成方法，其特征在于，所述金屬柵極疊層包括功函數層和位于功函數層上方的金屬柵極層。

10.根據權利要求9所述的形成方法，其特征在于，所述金屬柵極層的材料為Al或W。