[發明專利]基于鎖相環濾波法消除非線性誤差的光外差干涉法

有效

• 申請號: 201310231612.7
• 申請日: 2013-06-09
• 公開（公告）號: CN103322925A
• 公開（公告）日: 2013-09-25
• 發明（設計）人: 孫強;李也凡
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02;G01B11/04
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 田春梅

1.基于鎖相環濾波法消除非線性誤差的光外差干涉法，其特征在于：該方法包括：

在存在著非線性誤差干擾成分的光路上，通過分光獲得至少3路測量信號和1路參考信號，并使其中至少3路測量信號的各自周期性非線性誤差在要被消除的頻率成分上的相位角在一個對應的圓周角范圍內各不相同；

將至少3路測量信號與1路參考信號分別轉化為對應至少3路測量模擬電信號與1路參考模擬電信號。

將所述至少3路測量模擬電信號的每一路分別進行第一濾波過程及模數轉換，對應得到至少3路測量數字電信號；將1路參考模擬電信號進行第二濾波過程及模數轉換，對應得到1路參考數字電信號。

將所述至少3路測量數字電信號與1路參考數字電信號分別輸入對應FFT相位判讀模塊，計算得到至少3路測量信號相位角與1路參考信號相位角；

所述至少3路測量信號相位角與1路參考信號相位角分別進行相位比較和相位差的周期計數，并換算成位移，得到至少3路位移測量結果，此時各路位移測量結果中含有非線性誤差；

將得到的至少3路位移測量結果進行實數加權運算，再進行加法運算即可得到最終測量結果；

所述第一濾波過程包括采用鎖相環濾波器。

2.如權利要求1所述的基于鎖相環濾波法消除非線性誤差的光外差干涉法，其特征在于：所述第一濾波過程還包括在所述鎖相環濾波器之前加入低通濾波器或帶通濾波器進行濾波。

3.如權利要求1所述的基于鎖相環濾波法消除非線性誤差的光外差干涉法，其特征在于：所述至少3路測量信號中的至少3個周期性非線性誤差的相位差不小于60°。

4.如權利要求1所述的基于鎖相環濾波法消除非線性誤差的光外差干涉法，其特征在于：所述第一濾波過程與第二濾波過程采用不同種類的濾波器。

5.如權利要求1所述的基于鎖相環濾波法消除非線性誤差的光外差干涉法，其特征在于：所述第一濾波過程與第二濾波過程采用相同種類的濾波器。

6.如權利要求1所述的基于鎖相環濾波法消除非線性誤差的光外差干涉法，其特征在于：通過分光獲得至少3路測量信號和1路參考信號的步驟包括：輸出的A路光信號依次通過至少4個分光裝置分別得到A1、A2…An路光信號，其中n≥4；與輸出的A路光信號具有頻差的B路光信號通過分光裝置得到B1路光信號，B路其余光信號通過反射裝置反射后依次通過分光裝置得到B2…Bn路光信號，其中n≥4；A1路光信號和B1路光信號干涉形成參考信號，A2…An路光信號與B2…Bn路光信號分別對應干涉形成n-1路測量信號。

7.一種采用如權利要求1-6所述的光外差干涉法的光外差干涉裝置，其特征在于：包括：

第一分光裝置，將A路光信號分光得到A1、A2…An路光信號，其中n≥4；

第二分光裝置，將與輸出的A路光信號具有頻差的B路光信號分光得到B1路光信號及其余光信號，所述其余光信號經反射裝置反射后被第二分光裝置分光得到B2…Bn路光信號，其中n≥4；

干涉形成裝置，使得A1路光信號和B1路光信號干涉形成的參考信號，A2…An路光信號與B2…Bn路光信號分別對應干涉形成n-1路測量信號；

信號探測裝置，將上述1路參考信號、n-1路測量信號分別轉換為1路參考模擬電信號、n-1路測量模擬電信號；

第一濾波及轉換模塊，對n-1路測量模擬電信號分別進行第一濾波過程和模數轉換，對應得到n-1路測量數字電信號；

第二濾波及轉換模塊，對1路參考模擬電信號進行第二濾波過程和模數轉換，對應得到1路參考數字電信號；

FFT相位判讀模塊，計算得到n-1路測量數字電信號相位角與1路參考數字電信號相位角；

位移計算模塊，根據n-1路測量數字電信號相位角與1路參考數字電信號相位角，計算得到n-1路位移測量結果；

加權疊加模塊，將得到的n-1路位移測量結果進行實數加權運算以及加法運算。