[發明專利]一種等臂長外差式激光干涉測距系統

有效

• 申請號: 201310231028.1
• 申請日: 2013-06-09
• 公開（公告）號: CN103307985A
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發明（設計）人: 李玉瓊;靳剛;羅子人;劉河山;董玉輝
• 申請（專利權）人: 中國科學院力學研究所
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 北京和信華成知識產權代理事務所(普通合伙) 11390
• 代理人: 王藝

1.一種等臂長外差式激光干涉測距系統，其特征在于，至少包括：

隔振系統，用于將外界的震動噪聲進行隔離與過濾，降低系統的震動噪聲；

真空系統，用于降低系統因溫度波動所帶來的熱噪聲；

光源系統，用于提供2束高穩定性、高穩頻的激光，同時這兩束光具備相應的差分頻率；

干涉系統，用于產生兩路等臂長外差式干涉信號，利用位移與相位之間的關系，得到被測兩物體之間的位移變化信息；

相位監測與數據分析系統，用于對干涉信號進行相位檢測；對相位信息進行采集，并反演位移；反映干涉系統在各個頻段上的測距精度。

2.如權利要求1所述的一種等臂長外差式激光干涉測距系統，其特征在于：

所述隔振系統包括隔離地基和隔振光學平臺。

3.如權利要求2所述的一種等臂長外差式激光干涉測距系統，其特征在于：

所述真空系統包括真空腔和真空泵。

4.如權利要求3所述的一種等臂長外差式激光干涉測距系統，其特征在于：

所述光源系統包括沿光軸方向依次設置的：

一光源參考激光臂，用于產生準直、單色及偏振態可控的偏振參考激光；

一與所述光源參考激光臂等臂長的光源測量激光臂，用于產生準直、單色及偏振態控的偏振測量激光。

5.如權利要求4所述的一種等臂長外差式激光干涉測距系統，其特征在于：

所述光源參考激光臂包括沿光軸方向依次設置的：

一個激光器，用于產生激光光源；

一個第一半反半透鏡，使激光入射后分為兩路，光強減半，兩路光信號分別作為參考激光和測量激光；

一個第一聲光調制器，使經過的激光發生聲光相互作用后產生相應的頻移；

一個第一法拉第隔離器，用于對經過的激光進行調整，防止激光返回激光器，影響激光器正常工作；

一個第一線性偏振片，校正激光偏振狀態，使出射激光的偏振態保持為P光或者S光；

一個第一光纖耦合器，用于連接一條第一光纖；

所述光源測量激光臂包括沿光軸方向依次設置的：

一個第一直角反射鏡，使被所述第一半反半透鏡反射的激光被90度反射；

一個第二聲光調制器，使經過的激光發生聲光相互作用后產生相應的頻移；

一個第二法拉第隔離器，用于對經過的激光進行調整，防止激光返回激光器，影響激光器正常工作；

一個第二線性偏振片，校正激光偏振狀態，使出射激光的偏振態保持為P光或者S光，與被所述第一線性偏振片校正的激光偏振態保持一致；

一個第二光纖耦合器，用于連接一條第二光纖。