[發(fā)明專利]半導體元件的瑕疵檢測方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310229168.5 | 申請日： | 2013-06-09 |
| 公開（公告）號： | CN104237239B | 公開（公告）日： | 2017-02-08 |
| 發(fā)明（設計）人： | 羅文期;林裕超;婁介宇 | 申請（專利權(quán)）人： | 致茂電子（蘇州）有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/88 | 分類號： | G01N21/88;G01N21/94 |
| 代理公司： | 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11006 | 代理人： | 梁揮,常大軍 |
| 地址： | 215011 江蘇省蘇州市*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 元件 瑕疵 檢測 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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