[發明專利]一種用于寬波段硅基探測器的混合熒光薄膜的制備方法

無效

• 申請號: 201310228843.2
• 申請日: 2013-06-09
• 公開（公告）號: CN103289680A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 陶春先;何梁;張大偉;盧忠榮;洪瑞金;黃元申
• 申請（專利權）人: 上海理工大學
• 主分類號: C09K11/06
• 分類號: C09K11/06;H01L31/101;H01L31/0216;H01L31/0232
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司 31001
• 代理人: 吳寶根

1.一種用于寬波段硅基探測器的混合熒光薄膜的制備方法，其特征在于，具體包括如下步驟：

1）用瑪瑙研缽分別對Lumogen粉末和Coronene粉末進行研磨的前處理，處理后粉末放入指定燒杯中；

2）用甲苯溶液作為溶劑，硝化棉膠體溶液作為粘合劑，一起放入步驟1）中裝有熒光粉末的燒杯，在配置過程中，采用磁力攪拌器對混合溶液進行邊加熱邊攪拌，制成懸浮膠體溶液；

3）取適量懸浮膠體溶液，滴入光敏面上或者石英玻璃基片上，同時，將樣品真空吸附在旋涂儀上，旋涂成膜。

2.根據權利要求1所述用于寬波段硅基探測器的混合熒光薄膜的制備方法，其特征在于，所述步驟1）中Lumogen粉末和Coronene粉末質量比為1:1。

3.根據權利要求1所述用于寬波段硅基探測器的混合熒光薄膜的制備方法，其特征在于，所述步驟1）中各稱取經過瑪瑙研缽充分研磨的Lumogen粉末和Coronene粉末0.2g，步驟2）再用量筒量取10ml甲苯溶劑，并用滴管吸取6ml硝化棉溶液，然后將它們充分混合，再經過步驟3）旋涂成膜的混合變頻薄膜發射光譜集中在500nm～600nm波長范圍內。