[發明專利]異質結太陽能電池及其制備方法

有效

• 申請號: 201310228162.6
• 申請日: 2013-06-08
• 公開（公告）號: CN103346172A
• 公開（公告）日: 2013-10-09
• 發明（設計）人: 陳劍輝;李鋒;沈燕龍;趙文超;李高非;胡志巖;熊景峰
• 申請（專利權）人: 英利集團有限公司
• 主分類號: H01L31/0224
• 分類號: H01L31/0224;H01L31/18
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 吳貴明;張永明

1.一種異質結太陽能電池，包括TCO（50），以及形成在所述TCO（50）上的柵極（60），其特征在于，所述柵極（60）部分延伸進入所述TCO（50）中。

2.根據權利要求1所述的異質結太陽能電池，其特征在于，所述柵極（60）具有一端寬一端窄的結構，所述柵極（60）的寬端延伸進入所述TCO（50）中。

3.根據權利要求2所述的異質結太陽能電池，其特征在于，所述柵極（60）呈梯形結構。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的異質結太陽能電池，其特征在于，所述柵極（60）中延伸進入所述TCO（50）中的第一部分與位于所述TCO（50）外部的第二部分的高度比為1/1000～1/100。

5.根據權利要求4所述的異質結太陽能電池，其特征在于，所述柵極（60）中所述第一部分的高度與所述TCO（50）的厚度之間的比值為0.1～0.9。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的異質結太陽能電池，其特征在于，所述異質結太陽能電池包括襯底（10），所述TCO（50）設置在所述襯底（10）的正面和/或背面，所述柵極位于所述TCO（50）遠離所述襯底（10）的一側。

7.一種異質結太陽能電池的制備方法，包括：

提供襯底（10）；

在所述襯底上方形成TCO（50）；以及

在所述TCO（50）上形成柵極（60），

其特征在于，在所述TCO（50）上形成柵極（60）的步驟中，所述柵極（60）部分延伸進入所述TCO（50）中。

8.根據權利要求7所述的制備方法，其特征在于，在所述TCO（50）上形成柵極（60）的步驟包括：

在所述TCO（50）上刻蝕形成凹槽；

在所述凹槽中形成所述柵極（60），以使所述柵極（60）部分延伸進入所述TCO（50）中。

9.根據權利要求7所述的制備方法，其特征在于，所述TCO（50）包括第一TCO（51）和第二TCO（52），在所述襯底上方形成TCO（50），以及在所述TCO（50）上形成的柵極（60）的步驟包括：

在所述襯底上形成所述第一TCO（51）；

在所述第一TCO（51）上形成所述柵極（60）；以

在所述第一TCO（51）上，圍繞所述柵極（60）形成所述第二TCO（52），以使所述柵極（60）部分延伸進入所述TCO（50）中。

10.根據權利要求7至9中任一項所述的制備方法，其特征在于，所述TCO（50）形成在所述襯底的正面和/或背面上方，所述柵極形成在所述TCO（50）遠離所述襯底（10）的一側上，并朝向所述襯底的方向部分延伸進入所述TCO（50）中。