[發明專利]激光加工裝置有效
| 申請號： | 201310227640.1 | 申請日： | 2013-06-08 |
| 公開（公告）號： | CN103506759A | 公開（公告）日： | 2014-01-15 |
| 發明（設計）人： | 能丸圭司 | 申請（專利權）人： | 株式會社迪思科 |
| 主分類號： | B23K26/364 | 分類號： | B23K26/364;B23K26/064;B23K26/04;B23K26/08;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 李輝;金玲 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光 加工 裝置 | ||
1.一種激光加工裝置，其特征在于具有：
卡盤臺，其保持被加工物；
激光光線照射構件，其對保持于該卡盤臺的被加工物照射激光光線；以及
加工進給構件，其使該卡盤臺和該激光光線照射構件在加工進給方向上相對移動，
其中，該激光光線照射構件包括：
激光光線振蕩構件，其振蕩出激光光線；
聚光器，其使從該激光光線振蕩構件振蕩出的激光光線會聚而照射至保持于該卡盤臺的被加工物；以及
激光光線分支機構，其配置于該激光光線振蕩構件與該聚光器之間，將從該激光光線振蕩構件振蕩出的激光光線分支成多個激光光線，
該激光光線分支機構包括：
擴展角調整構件，其對從該激光光線振蕩構件振蕩出的激光光線的擴展角進行調整；以及
分支單元，其將通過了該擴展角調整構件的激光光線分支成多個激光光線，
該分支單元包括：
1/2波長板；
第一偏振分束器，其將通過了該1/2波長板的激光光線分離為P偏振光和S偏振光；
第一反射鏡，其對由該第一偏振分束器分離的P偏振光進行反射；
第二反射鏡，其對由該第一偏振分束器分離的S偏振光進行反射；以及
第二偏振分束器，其將被該第一反射鏡和該第二反射鏡反射的P偏振光和S偏振光導入至同一方向的光路，
該第一反射鏡和該第二反射鏡被配置為，使通過該第二偏振分束器導入至同一方向的光路的P偏振光和S偏振光以具有微小間隔的方式導入，
通過該擴展角調整構件調整從激光光線振蕩構件振蕩出的激光光線的擴展角，由此調整經由該分支單元而通過該聚光器會聚的由P偏振光和S偏振光構成的多個激光光線的聚光點的間隔。
2.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其中，
該分支單元被配置有多個，關于通過了上游側的該分支單元的P偏振光和S偏振光，通過下一個該分支單元的該1/2波長板而偏振面旋轉45度，P偏振光被進一步分支為P偏振光和S偏振光，S偏振光被進一步分支為P偏振光和S偏振光，導入至該聚光器。
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