[發明專利]圖案生成方法無效
| 申請號： | 201310226984.0 | 申請日： | 2013-06-08 |
| 公開（公告）號： | CN103488043A | 公開（公告）日： | 2014-01-01 |
| 發明（設計）人： | 三上晃司;荒井禎;石井弘之 | 申請（專利權）人： | 佳能株式會社 |
| 主分類號： | G03F1/36 | 分類號： | G03F1/36;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038 | 代理人： | 魏小薇 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圖案 生成 方法 | ||
1.一種圖案生成方法，用于使用計算機來生成用于生成掩模的圖案的單元的圖案，所述方法包括：
獲得單元的圖案的數據；
通過重復改變當具有單元的圖案的掩模被照射以將單元的圖案的圖像投影到基板上以使基板曝光時的曝光條件的參數值、以及單元的圖案的參數值，來計算單元的圖案的圖像以獲得圖像的評價值；以及
確定當評價值滿足預定的評價標準時的單元的圖案的參數值。
2.根據權利要求1所述的圖案生成方法，其中，確定當評價值滿足預定的評價標準時的曝光條件的參數值和單元的圖案的參數值。
3.根據權利要求1所述的圖案生成方法，其中，單元的圖案包括矩形的圖案元件。
4.根據權利要求3所述的圖案生成方法，其中，單元的圖案的參數包括該圖案元件的線寬度和偏移量。
5.根據權利要求1所述的圖案生成方法，其中，獲得多個單元的圖案的數據，
計算所有多個單元的圖像的所獲得的評價值，以及
確定當評價值滿足預定的評價標準時的曝光條件的參數值和單元的圖案的參數值。
6.根據權利要求1所述的圖案生成方法，其中，使用多個評價指標來計算圖像的評價值，以及
確定當評價值滿足用于評價指標中的每一個評價指標的預定的評價標準時的單元的圖案的參數值。
7.根據權利要求6所述的圖案生成方法，其中，針對評價指標中的每一個評價指標所確定的單元的圖案的參數值彼此不同。
8.根據權利要求1所述的圖案生成方法，其中，獲得多個單元的圖案的數據，以及
計算所述多個單元的圖案的圖像，其中，所述多個單元彼此分隔開不互相施加光學鄰近效應的距離。
9.根據權利要求1所述的圖案生成方法，其中，獲得多個單元的圖案的數據，評價值包括通過針對多個單元把多個單元的圖案的圖像的評價值相加所獲得的值以及包括在多個單元的圖案的圖像的評價值當中的最小值和最大值中的至少一個。
10.根據權利要求1所述的圖案生成方法，還包括：
在單元庫中存儲當評價值滿足預定的評價標準時的單元的圖案。
11.一種掩模圖案生成方法，包括：
從單元庫獲得通過根據權利要求5至10中任一項所述的圖案生成方法生成的多個單元的圖案，或獲得用戶輸入的多個單元的圖案以生成用以切分或連接線圖案和空間圖案的掩模圖案。
12.一種掩模圖案生成方法，包括：
當通過從存儲通過根據權利要求5所述的圖案生成方法生成的多個單元的圖案的單元庫中選擇單元來生成用以切分或連接線圖案和空間圖案的掩模圖案時，
通過重復改變包括從單元庫中選擇的單元的圖案的掩模圖案的參數值，使用所確定的曝光條件的參數值來計算所選擇的單元的圖案的圖像以獲得圖像的評價值；以及
確定當評價值滿足預定的評價標準時的掩模圖案的參數值。
13.一種掩模圖案生成方法，包括：
當通過從存儲有通過根據權利要求5所述的圖案生成方法生成的多個單元的圖案的單元庫中選擇單元來生成用以切分或連接線圖案和空間圖案的掩模圖案時，
通過重復改變包括從單元庫中選擇的單元的圖案的掩模圖案的參數值、以及在與曝光條件的所確定的參數值相差預定量的范圍中的曝光條件的參數值來計算所選擇的單元的圖案的圖像，以獲得圖像的評價值；以及
確定當評價值滿足預定的評價標準時的掩模圖案的參數值。
14.一種信息處理裝置，被配置為執行根據權利要求1至10中任一項所述的圖案生成方法。
15.一種曝光裝置，被配置為把掩模上形成的圖案曝光到基板上，掩模的圖案是通過用于使用計算機來生成用于生成掩模的圖案的單元的圖案的圖案生成方法生成的，所述方法包括：
獲得單元的圖案的數據；
通過重復改變當包括單元的圖案的掩模被照射以將單元的圖案的圖像投影到基板上以使基板曝光時的曝光條件的參數值、以及單元的圖案的參數值，來計算單元的圖案的圖像以獲得圖像的評價值；以及
確定當評價值滿足預定的評價標準時的單元的圖案的參數值。
16.一種器件制造方法，包括：使用曝光裝置來對基板曝光，并且使經曝光的基板顯影，其中，曝光裝置把在掩模上所形成的圖案曝光到基板上，掩模的圖案是通過用于使用計算機生成用于生成掩模的圖案的單元的圖案的圖案生成方法生成的，所述圖案生成方法包括：
獲得單元的圖案的數據；
通過重復改變當包括單元的圖案的掩模被照射以把單元的圖案的圖像投影到基板上以使基板曝光時的曝光條件的參數值、以及單元的圖案的參數值，來計算單元的圖案的圖像以獲得圖像的評價值；以及
確定當評價值滿足預定的評價標準時的單元的圖案的參數值。
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