[發明專利]一種熱處理反應管構件有效
| 申請號: | 201310224627.0 | 申請日: | 2013-06-06 |
| 公開(公告)號: | CN103305923B | 公開(公告)日: | 2017-05-10 |
| 發明(設計)人: | 孫少東 | 申請(專利權)人: | 北京七星華創電子股份有限公司 |
| 主分類號: | C30B33/02 | 分類號: | C30B33/02;C30B29/06 |
| 代理公司: | 北京路浩知識產權代理有限公司11002 | 代理人: | 韓國勝 |
| 地址: | 100015 北京*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 熱處理 反應 構件 | ||
1.一種熱處理反應管構件,其特征在于:所述熱處理反應管構件包括熱處理反應管和進排氣裝置,所述熱處理反應管內具有反應管腔室,所述進排氣裝置包括進氣裝置和排氣裝置,所述進氣裝置與反應管腔室連通,所述進氣裝置包括一支以上進氣擴散管(6)、一支以上與進氣擴散管(6)相連通的進氣導流管(8),所述排氣裝置包括一支以上排氣集散管(7)、一支以上與排氣集散管(7)相連通的排氣導流管(9),所述排氣裝置通過一個以上排氣孔連通反應管腔室,所述排氣孔上覆蓋有排氣均流板(5),所述進排氣裝置上設置有進氣口(1)和排氣口(2),所述進氣口(1)和排氣口(2)分別連通鄰近的進氣擴散管(6)和排氣集散管(7),反應氣體自進氣口(1)沿進氣裝置的任一路徑進入到反應管腔室的路程等長,所述進氣裝置和排氣裝置相向排列、結構對稱;所述排氣均流板(5)的縱向兩側與熱處理反應管的管壁之間具有用于氣流通過的空隙。
2.根據權利要求1所述的熱處理反應管構件,其特征在于:所述進氣裝置和排氣裝置環繞在熱處理反應管的管壁的外側,所述進氣擴散管(6)及排氣集散管(7)沿熱處理反應管的軸線方向排列,所述進氣導流管(8)分別連通相鄰的兩個進氣擴散管(6),所述排氣導流管分別連通相鄰的兩個排氣集散管(7)。
3.根據權利要求1所述的熱處理反應管構件,其特征在于:所述進氣裝置和排氣裝置分別位于熱處理反應管的兩側。
4.根據權利要求1所述的熱處理反應管構件,其特征在于:所述進氣口(1)和排氣口(2)被設置于熱處理反應管的一端,所述進氣口(1)和排氣口(2)分別通過進氣連接管和排氣連接管連通鄰近的進氣擴散管(6)和排氣集散管(7)。
5.根據權利要求4所述的熱處理反應管構件,其特征在于:所述進氣口(1)和排氣口(2)分別通過進氣束管(10)和排氣束管(11)連通鄰近的進氣擴散管(6)和排氣集散管(7)。
6.根據權利要求1所述的熱處理反應管構件,其特征在于:所述排氣均流板(5)的截面為圓弧形結構。
7.根據權利要求1所述的熱處理反應管構件,其特征在于:所述進氣裝置通過一個以上的進氣孔(3)與反應管腔室連通,反應氣體通過進氣孔(3)進入反應管腔室內。
8.根據權利要求7所述的熱處理反應管構件,其特征在于:所述進氣孔(3)的排列方向平行于熱處理反應管的軸線。
9.根據權利要求1所述的熱處理反應管構件,其特征在于:所述進氣裝置通過鑲嵌于熱處理反應管管壁上的多孔介質(12)與反應管腔室連通,反應氣體從多孔介質(12)進入反應管腔室。
10.根據權利要求9所述的熱處理反應管構件,其特征在于:所述多孔介質(12)平行于熱反應處理管的軸線,且多孔介質的兩端微小孔隙的密度大于中部微小孔隙的密度。
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