[發(fā)明專利]具有人員進入裝置的容器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310224066.4
• 申請日: 2008-11-26
• 公開（公告）號: CN103253473A
• 公開（公告）日: 2013-08-21
• 發(fā)明（設計）人: V.Y.格什泰因;C.R.巴特勒
• 申請（專利權(quán)）人: 氣體產(chǎn)品與化學公司
• 主分類號: B65D90/10
• 分類號: B65D90/10;B65D90/02;B65D90/00;F17C13/00;F17C13/04
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 周齊宏;楊思捷

本申請是申請日為2008年11月26日、申請?zhí)枮?00810189329.1、發(fā)明名稱為“具有人員進入裝置的容器”的發(fā)明專利申請的分案申請。

技術(shù)領域

本發(fā)明涉及用于存儲和運送特殊產(chǎn)品及其他材料(如，高純度(HP)和超高純度(UHP)流體)的罐或容器。

背景技術(shù)

電子工業(yè)中所使用技術(shù)的新發(fā)展和提高導致對愈加大量特殊材料(如，用于制造過程中的HP和和UHP流體)的需求。特殊材料是用于制造過程(如，電子元件的制造)中的化學制品，其顯示出某些特點，如高純度或超高純度。例如，特殊材料可以是粉末、乳劑、懸浮液和蒸汽。此處所使用的術(shù)語“流體”是指包括氣體、液體、升華的固體和其組合。

用于相應的生產(chǎn)設備的不同加工和處理的特殊材料可能需要傳送測得的雜質(zhì)在ppb水平的產(chǎn)品。即使特殊氣體和化學制品可能僅占生產(chǎn)費用的大約百分之0.01到大約百分之0.1，但是缺乏所述材料可能危及(例如)在電子生產(chǎn)設施中保持希望或需要的生產(chǎn)量的能力。有時，在制造過程中使用污染的產(chǎn)品可能危及最終產(chǎn)品的規(guī)格。最終產(chǎn)品的規(guī)格可在制造過程的非常最后階段加以確定。例如，在晶片生產(chǎn)的情況中，最終產(chǎn)品的規(guī)格可能在產(chǎn)品質(zhì)量保證程序中進行檢查。所生產(chǎn)的晶片可能被認為“越出規(guī)格范圍外”并且可能被丟棄，其可能引起數(shù)百萬美元的損失。因此，在運送期間保持特殊材料的純度具有真正的重要性。

用于存儲HP或UHP流體或其他特殊材料的容器的污染物可能特征在于當向容器中注入所述特殊材料時存在會損害特殊材料的預定純度水平的物質(zhì)，或者在將高純度產(chǎn)品在容器中輸送和/或存儲期間雜質(zhì)滲入到了容器中。

污染物可以采取固體、液體和氣體的形式。例如，污染物可以是由以前保存在容器中的另一種材料的殘渣形成的。污染物還可以由于容器漏氣，通過，例如，外界空氣滲入到容器內(nèi)部容積中而引入。更特別的是，通過環(huán)境的空氣滲入而進入的氧氣就電子制造中的HP和UHP流體及所使用的其他特殊材料而論通常被認為是污染物。氧氣可以在容器的內(nèi)表面上形成污染的氧化物。此外，氧氣分子可以被捕捉在容器的內(nèi)表面上，并且可以擴散到隨后被放入容器中的HP或UHP流體或者其他特殊材料中。當HP或UHP流體滯留在容器中時，由于與HP或UHP流體存在濃度梯度，氧氣分子可以被拽離容器的內(nèi)表面，并且被傳送到生產(chǎn)設備中，不利地影響最終產(chǎn)品的規(guī)格。

表征為特殊材料污染物的物質(zhì)視應用而定，并且可以隨著如特殊材料的特定類型、特殊材料的產(chǎn)品規(guī)格和特殊材料的預計用途等因素而變化。因此，在一種應用中被認為是污染物的物質(zhì)可能在另一種應用中不被認為是污染物。例如，氧氣、碳氫化合物、金屬微粒、水和氮氣被認為是超臨界二氧化碳(SCCO₂)的污染物。然而，氮氣不被認為是如NH₃、NF₃和Cl₂的電子學等級氣體的污染物。

有時，用于傳送少量HP和UHP材料的舊的傳送方法可能不再適用。例如，由于需要相當大量的所述材料，所以使用圓筒形瓶子或其他小包裝的傳送可能在某些制造過程中不再合意。例如，對超高純度“White?Ammonia”(NH₃)和高純度的三氟化氮(NF₃)的需求在近年來已經(jīng)顯著增加了，并且如今在許多不同制造過程中需要大量的所述材料。

用于傳送HP和UHP材料的大量(bulk)傳送容器和系統(tǒng)在近年來并未為人所知或加以利用。僅新技術(shù)(例如，用于生產(chǎn)不同電子器件的技術(shù))的最新發(fā)展已導致了對HP和UHP產(chǎn)品(如，NF₃、NH₃、C1₂、HCl及其他特殊氣體和化學制品)的大量需求。在過去，如瓶形圓筒的小型罐用于傳送相對少量的HP和UHP產(chǎn)品。雖然嚴格，但是對于制備小型罐的要求可以相對容易地滿足。甚至，用于相對較小的罐和容器的罐制備過程是公知的，所述罐和容器用來輸送HP和UHP產(chǎn)品。例如，簡單罐在烘箱中的加熱過程(被稱為“烘焙”)有助于獲得罐內(nèi)表面所需要的純度。準備好或所謂“純度處理”過的罐可以接收UHP產(chǎn)品而沒有污染UHP產(chǎn)品的威脅。被用于罐加熱的“烘焙”烘箱可能具有不同的尺寸和形狀，但是一般只限于相對較小的罐(如，氣瓶)的制備。