[發(fā)明專利]泄露電流收集結(jié)構(gòu)及具有該結(jié)構(gòu)的輻射檢測器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310222544.8
• 申請日: 2013-06-05
• 公開（公告）號: CN103515468B
• 公開（公告）日: 2017-03-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: P·科斯塔莫
• 申請（專利權(quán)）人: 牛津儀器分析公司
• 主分類號: H01L31/115
• 分類號: H01L31/115;H01L31/0224;G01T1/29
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所11256
• 代理人: 蘇娟,朱利曉

1.一種輻射檢測器，包括：

半導(dǎo)體材料件；

在所述半導(dǎo)體材料件的表面上，多個連續(xù)電極條能夠具有絕對值順序增加的電勢；和

場板，其覆蓋一對相鄰電極條之間的間隔的至少大部分并通過電絕緣層與所述間隔的至少大部分隔離；

其中，所述場板能夠具有絕對值比所述對的相鄰電極條的任何一個的電勢小的偏壓電勢。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輻射檢測器，包括跳躍連接件，其將所述場板電聯(lián)接到所述連續(xù)電極條的比所述對的相鄰電極條的任何一個都遠(yuǎn)離所述間隔的電極條。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的輻射檢測器，包括：

多個連續(xù)的場板，每個都覆蓋多個連續(xù)對的相鄰電極條中的一對之間的間隔的大部分；和

用于所述多個連續(xù)場板的每一個的跳躍連接件，每個跳躍連接件將相應(yīng)的場板聯(lián)接到所述連續(xù)電極條中的比限定相應(yīng)間隔的那些電極條中的任何一個遠(yuǎn)離該間隔的相應(yīng)電極條；

其中，每個所述跳躍連接件相對于所述電極條的順序在相同方向。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的輻射檢測器，其中，每個所述跳躍連接件到達(dá)所述電極條的順序中的相同數(shù)量的中間電極條上方。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輻射檢測器，其中：

所述間隔分支成至少兩個間隔分支，其間定位有另一個所述電極條；

所述場板與所述分支間隔相符地分支，使得所述場板的分支覆蓋相應(yīng)的間隔分支。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的輻射檢測器，其中，所述電極條是新月形式的，并且所述另一個所述電極條比所述對的相鄰電極條短，使得所述間隔在所述另一個所述電極條的每個端部處分支成兩個間隔分支。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輻射檢測器，其中：

所述間隔的至少一個點包括局部摻雜區(qū)域；并且

在所述摻雜區(qū)域和所述場板之間存在電連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輻射檢測器，其中：

所述場板包括在所述場板的縱向上通過間隙彼此分離的兩個區(qū)段，

所述場板包括兩個偏壓電勢連接分支，每個分支從公共點到達(dá)所述場板中最靠近所述間隙的相應(yīng)區(qū)段；并且

所述公共點包括到所述連續(xù)電極條中的比所述對的相鄰電極條的任何一個遠(yuǎn)離所述間隔的那個電極條的電連接并定位在該電連接上方。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的輻射檢測器，其中：

在所述兩個分支的中間留下的空間中，存在進(jìn)一步的兩分支偏壓電勢連接，從而形成一系列嵌套的V。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輻射檢測器，其中：

所述輻射檢測器是微滴形式的漂移檢測器，

所述電極條的至少一些是部分圍繞所述微滴形式的漂移檢測器的陽極區(qū)域的新月形式的場電極。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輻射檢測器，其中：

所述輻射檢測器是圓形漂移檢測器，

所述電極條的至少一些是圍繞所述圓形漂移檢測器的陽極區(qū)域的環(huán)形場電極。

12.一種用于檢測電磁輻射的方法，包括：

通過由多個連續(xù)電極條中的絕對值順序增加的電勢在半導(dǎo)體材料件內(nèi)感應(yīng)的電場朝著半導(dǎo)體材料件中的檢測點引導(dǎo)輻射感應(yīng)的電荷載體；和

通過覆蓋所述間隔的至少大部分并與所述間隔的至少大部分電隔離的場板的電勢收集所述電極條的一對相鄰電極條之間的間隔中的表面產(chǎn)生電荷載體；

其中，所述場板的所述電勢的絕對值小于所述對的相鄰電極條中的任何一個的電勢。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，包括：

從所述連續(xù)的電極條中的比所述電極條的所述對的相鄰電極條遠(yuǎn)離由場板覆蓋的間隔的電極條獲得到每個場板的電勢。