[發明專利]涂布裝置和涂布方法

有效

• 申請號: 201310222183.7
• 申請日: 2013-06-05
• 公開（公告）號: CN104216231B
• 公開（公告）日: 2019-02-12
• 發明（設計）人: 劉洋;伍強;胡華勇
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;B05C5/00;B05C11/02;B05C13/02;B05D5/06
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種涂布裝置，其特征在于，包括：

基臺；

晶圓載物臺組，用于裝載晶圓，位于基臺上，所述晶圓載物臺組包括若干晶圓載物臺，若干晶圓載物臺依次在基臺上的第一位置和第二位置之間循環移動；

對準檢測單元，位于基臺的第一位置上方，用于檢測位于第一位置的晶圓載物臺上的基準標記、以及該晶圓載物臺上的晶圓上的對準標記，進行晶圓的對準；

掩模板載物臺，位于基臺上，用于裝載圓筒形掩模板，使圓筒形掩模板水平放置，并使圓筒形掩模板繞圓筒形掩模板的中心軸旋轉，所述圓筒形掩模板為中空的圓柱，圓筒形掩模板的表面包括位于中間的圖像區域和位于圖像區域兩邊的非圖像區域，所述掩模板載物臺包括第一懸臂和第二懸臂，第二懸臂的一側固定有軸柄，第一懸臂為可移動懸臂；軸柄上具有第一軸承和第二軸承，第一軸承位于軸柄上靠近第二懸臂的一端，第二軸承位于軸柄上遠離第二懸臂的另一端，第一軸承和第二軸承的軸承內圈固定于軸柄上；在裝載之前，第一懸臂從與軸柄相卡合的一端脫離，圓筒形掩模板在傳送手臂的傳送下套在第一軸承和第二軸承的軸承外圈上，圓筒形掩模的非圖像區域的內表面與第一軸承和第二軸承的軸承外圈相接觸，圓筒形掩模在傳送手臂的傳送下套在第一軸承和第二軸承上之后，第一懸臂向軸柄方向移動，使第一懸臂的一端與軸柄的一端重新卡合，完成圓筒形掩模板的裝載；

曝光光源，位于圓筒形掩膜板的中空區域，用于發射曝光光線照射圓筒形掩膜板的圖像區域；

光學投影單元，位于掩膜板載物臺和基臺之間，將透過圓筒形掩膜板的圖像區域的光投射到晶圓載物臺上晶圓的曝光區，其中，當晶圓載物臺從第一位置移動到第二位置，然后沿掃描方向的單方向掃描時，圓筒形掩膜板繞掩膜板載物臺的中心軸旋轉，透過圓筒形掩膜板的圖像區域光投射到晶圓載物臺上的晶圓上，對晶圓上的沿掃描方向排列的某一列曝光區進行曝光；

光刻膠噴頭，用于從圓筒形掩模板的側上方向圓筒形掩模板表面噴灑光刻膠；

夾持單元，位于掩模板載物臺一側，用于夾持輔助滾筒，使所述輔助滾筒水平放置，并使所述輔助滾筒繞輔助滾筒的中心軸旋轉；

其中，當水平放置的輔助滾筒表面貼近水平放置的圓筒形掩模板表面，光刻膠噴頭從側上方向圓筒形掩模板表面噴灑光刻膠時，圓筒形掩模板繞中心軸旋轉，同時輔助滾筒也繞中心軸旋轉，輔助滾筒擠壓圓筒形掩模板和輔助滾筒之間的光刻膠，使光刻膠涂覆于圓筒形掩模板表面。

2.如權利要求1所述的涂布裝置，其特征在于，所述輔助滾筒的表面為親水表面，圓筒形掩模板的表面為斥水表面。

3.如權利要求1所述的涂布裝置，其特征在于，所述輔助滾筒的直徑小于、大于或等于圓筒形掩模板的直徑，輔助滾筒的長度等于圓筒形掩模板的長度。

4.如權利要求1所述的涂布裝置，其特征在于，所述輔助滾筒的材料為石英。

5.如權利要求1所述的涂布裝置，其特征在于，當水平放置的輔助滾筒表面貼近水平放置的圓筒形掩模板表面時，輔助滾筒表面與圓筒形掩模板表面的距離是50～5000納米。

6.如權利要求1所述的涂布裝置，其特征在于，還包括：輻射加熱單元，所述輻射加熱單元用于對輔助滾筒擠壓前的光刻膠進行加熱。

7.如權利要求6所述的涂布裝置，其特征在于，所述輻射加熱單元包括輻射光源，輻射光源為紅外輻射光源。

8.如權利要求1所述的涂布裝置，其特征在于，輔助滾筒表面貼近圓筒形掩模板表面時，輔助滾筒的中軸線與圓筒形掩模板的中軸線相互平行，并且位于與基臺平行的一個平面內。

9.如權利要求1所述的涂布裝置，其特征在于，還包括：第一位置檢測單元，用于檢測輔助滾筒的中心軸位移信息和轉動信息。

10.如權利要求1所述的涂布裝置，其特征在于，還包括：第二位置檢測單元，用于檢測圓筒形掩模板的中心軸位移信息和轉動信息。