[發(fā)明專利]有機(jī)氨基乙硅烷前體和包含該前體的薄膜沉積的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310220937.5
• 申請日: 2013-06-03
• 公開（公告）號: CN103451619A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 蕭滿超;雷新建;D·P·斯彭斯;H·錢德拉;M·L·奧內(nèi)爾
• 申請（專利權(quán)）人: 氣體產(chǎn)品與化學(xué)公司
• 主分類號: C23C16/22
• 分類號: C23C16/22;C07F7/10;C23C16/24;C23C16/30;C23C16/40;C23C16/34;C23C16/36;C23C16/44
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 吳亦華

1.包含Si-N鍵、Si-Si鍵和Si-H₂基團(tuán)的有機(jī)氨基乙硅烷前體，其由如下的式I表示：

其中R¹和R³各自獨(dú)立地選自直鏈或支鏈C₃-C₁₀烷基、直鏈或支鏈C₃-C₁₀烯基、直鏈或支鏈C₃-C₁₀炔基、C₁-C₆二烷基氨基、吸電子基團(tuán)和C₆-C₁₀芳基；R²和R⁴各自獨(dú)立地選自氫、直鏈或支鏈C₁-C₁₀烷基、直鏈或支鏈C₃-C₁₀烯基、直鏈或支鏈C₃-C₁₀炔基、C₁-C₆二烷基氨基、吸電子基團(tuán)和C₆-C₁₀芳基；并且其中R¹和R²、R³和R⁴、R¹和R³或R²和R⁴中的任一組、全部或沒有一組連接在一起以形成選自取代或未取代芳族環(huán)或者取代或未取代脂族環(huán)的環(huán)；條件是R¹、R²、R³和R⁴不是異丙基。

2.權(quán)利要求1的有機(jī)氨基乙硅烷前體，其中R¹和R²、R³和R⁴、R¹和R³或R²和R⁴中的任一組或全部選自直鏈或支鏈C₃-C₆烷基并且連接以形成環(huán)狀環(huán)；或者其中R¹、R²、R³和R⁴相同但不是甲基、乙基或異丙基；或者其中R¹、R²、R³和R⁴不同。

3.權(quán)利要求1或2的有機(jī)氨基乙硅烷前體，包含選自1，2-雙(二-仲丁基氨基)乙硅烷、苯基乙基氨基乙硅烷、1-(二-異丙基氨基)-2-(2，6-二甲基哌啶子基)乙硅烷、1，2-雙(2，6-二甲基哌啶子基)乙硅烷和1，2-雙(吡咯烷基乙硅烷)乙硅烷中的至少一種；優(yōu)選地包含選自1，2-雙(二-仲丁基氨基)乙硅烷、苯基乙基氨基乙硅烷和1，2-雙(2，6-二甲基哌啶子基)乙硅烷中的至少一種。