[發明專利]YE區域掃描機臺的派工方法

有效

• 申請號: 201310220496.9
• 申請日: 2013-06-04
• 公開（公告）號: CN103345666A
• 公開（公告）日: 2013-10-09
• 發明（設計）人: 沈曉棟;邵雄;婁曉祺
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G06Q10/06
• 分類號: G06Q10/06;G06Q50/04
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 竺路玲

技術領域

本發明涉及半導體生產自動化控制技術領域，尤其涉及一種YE（Yield?Enhancement，良率提升）區域掃描機臺的派工方法。

背景技術

在目前半導體代工生產中，自動化設備已經非常的普遍，生產工藝設備已經能夠進行自動傳片，制程加工，數據記錄，自動判斷生產晶片是否符合制程等自動化生產。但是對于代工生產中，由于產品類型復雜多樣，技術工藝各不相同，所以需要對安排上機臺的產品的生產次序進行安排，目前行業里主要的方式是通過操作人員根據數據統計的方式來安排生產。

中國發明專利（公開號：CN1499570）公開了一種半導體制程派工控制方法以及制造半導體組件的方法，其實施于一電腦及一運送系統，用以決定復數晶圓產品中那一種能送進制造系統，首先由該電腦取得每一種晶圓產品的相對產量及等待時間限制，接著并計算每一晶圓產品的多制程加工需求時間以及每一晶圓產品的總等待時間限制，該電腦并根據該加工需求時間以及總等待時間限制的比較結果，決定那一種晶圓產品可被送入該制造系統，當一晶圓產品的多制程加工需求時間小于總等待時間限制，批次晶圓可被送入制造系統中處理或者在即定的機臺中進一步處理該晶圓產品，再由該運送系統依據該派工結果，將該選定的晶圓產品運送至該制造系統。

中國發明專利申請（公開號：CN101996359A）公開了一種半導體制造過程的派工方法，包括：判斷在制品中是否包括最大允許等待時間小于設定值的在制品；若該在制品中包括最大允許等待時間小于設定值的在制品，且制造系統正在運行次要產品或所述在制品中包括觸發產品，則首先派工最大允許等待時間小于設定值的在制品，之后派工最大允許等待時間不小于設定值的次要產品，最后派工最大允許等待時間不小于設定值的主要產品。該發明根據設備的運行狀況、在制品的最大允許等待時間、等待時間、優先級、片數以及過貨時間等因素靈活地實現派工控制，既保證了在制品的品質，又充分利用了光刻設備的產能。

上述兩專利均公開了半導體制造過程中的派工方法，但并未涉及到YE區域掃描機臺的派工方法，在生產區域中YE區域的掃描機臺主要擔負著整個生產區域的制程機臺的良率監控，YE區域根據一定的比率監控所有生產制程機臺的缺陷狀況，YE工程師一般情況下，會通過修改產品抽樣率來控制待掃描的產品，并且需要超過掃描機臺的產能，達到盡可能高的掃描機臺利用率；在所有等待掃描監控的產品中還分為很多問題類型，如：制程機臺監控的抽樣產品；發現問題機臺有產品缺陷的產品加片掃描；需要重點監控機臺的來貨掃描；整個生產區域需要優先優先出貨的產品；機臺保養后，第一批的確認產品；工程師做試驗的晶片掃描等等；以上種種類型盡管都需要進行掃描，但由于YE區域掃描機臺的掃描能力有限，所以目前是由YE工程師負責來選擇重要程度較高的產品來掃描，這樣往往會遺漏存在缺陷的產品，無法及時查出生產缺陷產品的機臺存在的問題。

發明內容

針對上述存在的問題，本發明公開一種YE區域掃描機臺的派工方法，通過設定YE區域掃描機臺的派工規則，保證生產過程正常有序，達到優先生產的產品能夠及時的通過YE區域，有異常需要處理并澄清問題的產品或機臺能夠及時的得到掃描的結果。

為了實現上述目的，本發明采用如下技術方案：

一種YE區域掃描機臺的派工方法，其應用于一設有設定單元、輸入排序單元、檢查計算單元和顯示輸出單元的主機以及一派工系統上，其中，包括如下步驟：步驟1，由設定單元設定派工規則，對不同類別貨品的排序進行定義；步驟2，對在YE區域等待掃描的每一批次貨品進行歸類，由輸入排序單元接收歸類信息后按照派工規則進行掃描排序；步驟3，由檢查計算單元對掃描排序后的貨品進行檢查計算，以得到最終掃描排序；步驟4，由顯示輸出單元顯示并向派工系統輸出最終掃描排序，由派工系統按照最終掃描排序對相應的YE區域掃描機臺進行自動派工。

上述的YE區域掃描機臺的派工方法，其中，在步驟1中，還包括定義每臺YE區域掃描機臺掃描最適合掃描的貨品類別。

上述的YE區域掃描機臺的派工方法，其中，在步驟1中，由設定單元設定派工規則，對不同類別貨品的排序進行定義，不同類別貨品的先后次序為：允許等待時間限定貨品，第一允許等待剩余時間限定貨品，關鍵貨品，第一優先級貨品，試生產貨品，缺陷確認貨品，第二優先級貨品，關鍵機臺貨品，存在缺陷貨品，缺陷超過控制標準貨品，第二允許等待剩余時間限定貨品，YE工程試驗貨品，一般優先級貨品/其他區域工程師試驗貨品，潛在問題貨品以及工程師試驗貨品/破片流程貨品。