[發明專利]基于射頻電路的電感元件制作方法

在審

• 申請號: 201310219315.0
• 申請日: 2013-06-04
• 公開（公告）號: CN103347367A
• 公開（公告）日: 2013-10-09
• 發明（設計）人: 張玲艷
• 申請（專利權）人: 青島海信寬帶多媒體技術有限公司
• 主分類號: H05K3/16
• 分類號: H05K3/16;H05K1/16;H01F41/00;H01F37/00
• 代理公司: 北京市京大律師事務所 11321
• 代理人: 黃啟行;方曉明

1.一種基于射頻電路的電感元件制作方法，該方法包括：

基于射頻電路所需的匹配電感值及品質因數，確定印制電路板上采用磁控濺射制作的螺旋纏繞的電感元件的尺寸參數；

根據確定的電感元件的尺寸參數，設置用于制作電感元件的掩膜片；

將制作好的掩膜片覆蓋在印制電路板上貼裝電感元件的位置，置于磁控濺射設備中鍍制，形成螺旋纏繞的電感元件。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，所述電感元件的金屬線圈截面包括：圓形、矩形、折線形以及八邊形。

3.根據權利要求2所述的方法，其中，所述尺寸參數包括：圈數、線圈線直徑、線圈內直徑、線圈外直徑以及線圈之間的間隔距離。

4.根據權利要求3所述的方法，其中，所述電感元件的金屬線圈截面為圓形，所述電感值計算公式為：

L=μ0n2davgC12[ln(C2ρ)+C3ρ+C4ρ2]]]>

式中，

L為圓形電感元件的電感值；

μ₀為磁導率，μ₀=4*π*10^-7;

C₁～C₄為圓形電感元件的幾何形狀系數；

n為圓形電感元件線圈的圈數；

d_avg為圓形電感元件線圈內徑與外徑的平均值，

ρ為圓形電感元件線圈空心系數，

d_in為圓形電感元件線圈的內直徑；

d_out為圓形電感元件線圈的外直徑。

5.根據權利要求4所述的方法，其中，所述C₁=1,C₂=2.46,C₃=0,C₄=0.2。

6.根據權利要求4所述的方法，其中，所述品質因數的計算公式為：

Q=2nfL/R

R=kRSlw]]>

k=1+0.333(1+s/w)

式中，

R為圓形電感元件線圈總耗損值；

f為工作頻率；

R_S為圓形電感元件的表面電阻；

k為修正因子；

l為圓形電感元件線圈長度。

7.根據權利要求6所述的方法，其中，選取工作頻率f=2.0GHz，電感值L=8nH，品質因數Q大于6.5，所述圈數n=8，線圈線直徑w=11μm，線圈內直徑d_in=46μm，線圈外直徑d_out=250μm，線圈之間的間隔距離s=2μm。

8.根據權利要求1至7任一項所述的方法，其中，所述電感元件的厚度通過設置所述磁控濺射設備的磁性靶的濺射時間、磁性靶的濺射速率以及濺射氣壓確定。