[發明專利]具有異質結結構的阻變存儲器及其讀取方法無效
| 申請號: | 201310218048.5 | 申請日: | 2013-06-03 |
| 公開(公告)號: | CN103345935A | 公開(公告)日: | 2013-10-09 |
| 發明(設計)人: | 吳華強;吳明昊;白越;張燁;錢鶴 | 申請(專利權)人: | 清華大學 |
| 主分類號: | G11C8/08 | 分類號: | G11C8/08;G11C8/16 |
| 代理公司: | 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 張大威 |
| 地址: | 100084 北京*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 具有 異質結 結構 存儲器 及其 讀取 方法 | ||
1.一種具有異質結結構的阻變存儲器,其特征在于,阻變存儲器中的阻變存儲單元包括:
下電極;
形成在所述下電極之上的阻變層;
形成在所述阻變層之上的附加氧化層,
其中,所述附加氧化層與所述阻變層構成異質結結構,所述下電極通過金屬互連與阻變存儲器的字線或位線中的其一相連,所述異質結結構通過金屬互連與阻變存儲器的字線或位線中的另一相連,所述字線與位線呈橫縱交叉。
2.如權利要求1所述的具有異質結結構的阻變存儲器,其特征在于,所述阻變層與所述附加氧化層之間還包括上電極。
3.如權利要求1或2所述的具有異質結結構的阻變存儲器,其特征在于,所述阻變層為TiOx層;附加氧化層為WOx。
4.一種具有異質結結構的阻變存儲器的讀取方法,其特征在于,采用權利要求1-3任一項的具有異質結結構的阻變存儲器,包括以下步驟:
在所述阻變存儲單元對應的字線或位線的其一加電壓+0.5Vread,在所述阻變存儲單元對應的字線或位線的另一加電壓-0.5Vread,讀取數據。
5.如權利要求4所述的具有異質結結構的阻變存儲器的讀取方法,其特征在于,所述Vread為1V。
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