[發(fā)明專利]高溫半導(dǎo)體工藝的機臺的熱交換系統(tǒng)與方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310217955.8 | 申請日： | 2013-06-03 |
| 公開（公告）號： | CN103278029A | 公開（公告）日： | 2013-09-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 傅榮顥;黃錦才 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司 |
| 主分類號： | F28D1/00 | 分類號： | F28D1/00;F28F27/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 鄭瑋 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 高溫 半導(dǎo)體 工藝 機臺 熱交換 系統(tǒng) 方法 | ||
1.一種高溫半導(dǎo)體工藝的機臺的熱交換系統(tǒng)，用以與機臺的反應(yīng)室的兩個通風(fēng)端口連接，其特征在于：包括進風(fēng)口、出風(fēng)口、熱交換器、位于所述出風(fēng)口的吹風(fēng)機以及一個熱傳感器，從所述反應(yīng)室排出的熱空氣進入所述進風(fēng)口后，依次經(jīng)過熱交換機、熱傳感器和出風(fēng)口，再由位于所述出風(fēng)口的吹風(fēng)機的作用排入反應(yīng)室；
所述熱交換機用于將熱空氣降溫；
所述熱傳感器用以采集所述熱交換機降溫后的空氣溫度，當(dāng)采集到的降溫后的空氣溫度高于設(shè)定值，則機臺報警并終止反應(yīng)室內(nèi)的生產(chǎn)制程工藝。
2.如權(quán)利要求1所述的高溫半導(dǎo)體工藝的機臺的熱交換系統(tǒng)，其特征在于：所述熱傳感器至少包括金屬片和流動的循環(huán)冷卻水，所述循環(huán)冷卻水在所述金屬片上流通，熱空氣通過穿過所述金屬片和所述循環(huán)冷卻水實現(xiàn)冷卻。
3.如權(quán)利要求2所述的高溫半導(dǎo)體工藝的機臺的熱交換系統(tǒng)，其特征在于：所述循環(huán)冷卻水的流通由一個水流開關(guān)控制，所述熱傳感器與所述水流開關(guān)連接；當(dāng)所述熱傳感器采集到的降溫后的空氣溫度高于設(shè)定值時，將觸發(fā)機臺報警并終止反應(yīng)室內(nèi)的工藝制程。
4.如權(quán)利要求1所述的高溫半導(dǎo)體工藝的機臺的熱交換系統(tǒng)，其特征在于：所述進風(fēng)口與所述出風(fēng)口通過兩個風(fēng)管分別連接所述反應(yīng)室的通風(fēng)端口。
5.如權(quán)利要求1所述的高溫半導(dǎo)體工藝的機臺的熱交換系統(tǒng)，其特征在于：所述反應(yīng)室的處理溫度為1000攝氏度，空氣溫度的設(shè)定值為35攝氏度。
6.一種高溫半導(dǎo)體工藝的機臺的熱交換方法，其特征在于：提供一個熱交換系統(tǒng)，所述熱交換系統(tǒng)包括進風(fēng)口、出風(fēng)口、位于所述出風(fēng)口的吹風(fēng)機、熱交換器和熱傳感器，所述熱交換方法包括如下步驟：首先，熱空氣從反應(yīng)室進入進風(fēng)口后，熱空氣流經(jīng)熱交換器，所述熱交換器對熱空氣進行降溫，然后降溫后的空氣流通到所述熱傳感器，當(dāng)熱傳感器采集到的溫度高于設(shè)定值時，則機臺報警并終止反應(yīng)室內(nèi)的生產(chǎn)制程工藝，當(dāng)熱傳感器采集到的溫度不高于設(shè)定值時，降溫后的空氣流通到出風(fēng)口，最后經(jīng)過位于出風(fēng)口的吹風(fēng)機將降溫后的空氣吹入反應(yīng)室。
7.如權(quán)利要求6所述的高溫半導(dǎo)體工藝的機臺的熱交換方法，其特征在于：所述熱傳感器至少包括金屬片和流動的循環(huán)冷卻水，所述循環(huán)冷卻水在所述金屬片上流通，熱空氣通過穿過所述金屬片和所述循環(huán)冷卻水實現(xiàn)冷卻。
8.如權(quán)利要求7所述的高溫半導(dǎo)體工藝的機臺的熱交換方法，其特征在于：所述循環(huán)冷卻水的流通由一個水流開關(guān)控制，所述熱傳感器與所述水流開關(guān)連接；當(dāng)所述熱傳感器采集到的降溫后的空氣溫度高于設(shè)定值時，將觸發(fā)機臺報警并終止反應(yīng)室內(nèi)的工藝制程。
9.如權(quán)利要求6所述的高溫半導(dǎo)體工藝的機臺的熱交換方法，其特征在于：所述進風(fēng)口與所述出風(fēng)口通過兩個風(fēng)管連接所述反應(yīng)室的通風(fēng)端口。
10.如權(quán)利要求6所述的高溫半導(dǎo)體工藝的機臺的熱交換方法，其特征在于：所述反應(yīng)室的處理溫度為1000攝氏度，空氣溫度的設(shè)定值為35攝氏度。
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