[發明專利]一種非接觸式柔性控制器及其制備方法

有效

• 申請號: 201310217806.1
• 申請日: 2013-06-04
• 公開（公告）號: CN103294275A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 張珽;熊作平;王學文
• 申請（專利權）人: 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041
• 代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316
• 代理人: 宋鷹武

1.一種非接觸式柔性控制器，其特征在于，包括：

電極陣列，所述電極陣列至少包括第一層電極及第二層電極，所述第一層電極和所述第二層電極均由若干等間距且相互平行的電極組成，所述第一層電極和所述第二層電極相互垂直；

介電層，為由若干介電層模塊組成的陣列，所述介電層模塊設置于所述第一層電極與所述第二層電極交叉位置，所述介電層模塊為透明材質；以及

形成于柔性襯底表面的導電層，所述導電層包括還原氧化石墨烯薄膜層，所述還原氧化石墨烯薄膜層為由若干還原氧化石墨烯模塊組成的陣列，所述還原氧化石墨烯模塊設置于由所述第一層電極和所述第二層電極形成的空間內、且與所述第一層電極及所述第二層電極均電性連接。

2.根據權利要求1所述的非接觸式柔性控制器，其特征在于，組成所述第一層電極和所述第二層電極的電極寬度小于所述還原氧化石墨烯模塊之間的距離。

3.根據權利要求1所述的非接觸式柔性控制器，其特征在于，組成所述第一層電極和所述第二層電極的電極包括主路電極及支路電極，所述第一層電極和所述第二層電極的主路電極相互垂直，所述第一層電極和所述第二層電極的支路電極相互平行，所述第一層電極和所述第二層電極的支路電極分別電性連接于所述還原氧化石墨烯模塊。

4.根據權利要求1所述的非接觸式柔性控制器，其特征在于，組成所述第一層電極和所述第二層電極的電極由Au、Ag、Pt、Ni、Cd、In、Cu中的任意一種材料或者二種以上材料的組合制備而成。

5.根據權利要求1所述的非接觸式柔性控制器，其特征在于，所述第一層電極及所述第二層電極的厚度為10nm～500μm。

6.根據權利要求1所述的非接觸式柔性控制器，其特征在于，所述透明材質為PDMS或石蠟或透明絕緣聚合物，其中，所述透明絕緣聚合物為環氧AB膠或液體硅膠或玻璃膠水或溶液化聚對苯二甲酸類塑料。

7.根據權利要求1所述的非接觸式柔性控制器，其特征在于，所述介電層的厚度大于10nm。

8.根據權利要求1所述的非接觸式柔性控制器，其特征在于，所述還原氧化石墨烯模塊由單層石墨烯薄片組成或由多層石墨烯薄片疊加而成。

9.根據權利要求1所述的非接觸式柔性控制器，其特征在于，所述還原氧化石墨烯模塊之間的距離為0.01cm～5cm。

10.根據權利要求1所述的非接觸式柔性控制器，其特征在于，所述還原氧化石墨烯模塊的透光率為50%～95%，厚度為20nm～500nm，電阻為10⁵Ω～10⁶Ω。

11.根據權利要求1所述的非接觸式柔性控制器，其特征在于，所述導電層還為碳納米管或功能化石墨烯或半導體氧化物納米線，其中，所述半導體氧化物納米線為氧化錫納米線或氧化鋅納米線。

12.一種非接觸式柔性控制器的制備方法，其特征在于，包括下述步驟：

步驟S310：制備還原氧化石墨烯薄膜；

步驟S320：將所述還原氧化石墨烯薄膜轉移至柔性襯底表面，形成還原氧化石墨烯薄膜層，并將所述還原氧化石墨烯薄膜層分為由若干還原氧化石墨烯模塊陣列；

步驟S330：基于所述還原氧化石墨烯模塊，制備第一層電極；

步驟S340：在所述第一層電極上表面涂覆介電層，所述介電層為由若干介電層模塊組成的陣列，所述介電層為透明材質；及

步驟S350：采用上述制備第一層電極方法制備第二層電極。