[發明專利]磁傳感器的制備方法以及磁傳感器

有效

• 申請號: 201310214969.4
• 申請日: 2013-05-31
• 公開（公告）號: CN104218149A
• 公開（公告）日: 2014-12-17
• 發明（設計）人: 張挺;楊鶴俊;萬旭東
• 申請（專利權）人: 上海矽睿科技有限公司
• 主分類號: H01L43/12
• 分類號: H01L43/12;H01L43/02;G01R33/09
• 代理公司: 上海翼勝專利商標事務所(普通合伙) 31218
• 代理人: 孫佳胤

1.?????一種磁傳感器的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

提供襯底，所述襯底表面具有至少一個凸臺；

在凸臺的側壁和襯底的表面形成Z軸磁感應單元，并在襯底的表面形成感測單元，所述Z軸磁感應單元包括一與凸臺側壁貼合的磁化本體以及一延伸至襯底表面的引出端，所述Z軸磁感應單元和感測單元包含有磁性材料；

在所述襯底表面形成連續的電極層，所述電極層亦覆蓋所述凸臺；

圖形化所述電極層，以在感測單元表面形成工作電極，并同時在凸臺側壁上的磁化本體表面形成自檢測電極。

2.?????根據權利要求1所述的磁傳感器的制備方法，其特征在于，所述襯底表面進一步包括多個凸臺，所述圖形化所述電極層的步驟中，進一步在襯底表面形成連接不同凸臺表面各自檢測電極的電連接部分。

3.?????根據權利要求1所述的磁傳感器的制備方法，其特征在于，在形成Z軸磁感應單元和感測單元的步驟之前，進一步包括在所述襯底和凸臺的表面生成絕緣層的步驟。

4.?????根據權利要求1所述的磁傳感器的制備方法，其特征在于，所述磁性材料選自于各項異性磁阻材料、巨磁阻材料以及隧道磁阻材料中的任意一種。

5.?????根據權利要求1所述的磁傳感器的制備方法，其特征在于，在形成磁性材料時，在襯底上同時施加一磁場，用以誘導磁性材料的磁化方向。

6.?????根據權利要求1所述的磁傳感器的制備方法，其特征在于，在形成Z軸磁感應單元和感測單元后，在襯底上施加一磁場進行退火，用以提升磁性材料的磁性能。

7.?????根據權利要求1所述的磁傳感器的制備方法，其特征在于，所述磁化本體與襯底表面的夾角為45°至90°之間。

8.?????根據權利要求1所述的磁傳感器的制備方法，其特征在于，感測單元與引出端之間間隔一距離，所述距離小于5微米。

9.?????根據權利要求1所述的磁傳感器的制備方法，其特征在于，感測單元與引出端之間相互貼合。

10.根據權利要求1所述的磁傳感器的制備方法，其特征在于，在形成連續的電極層步驟之前，進一步包括如下步驟：

在所述Z軸磁感應單元和感測單元的表面形成介質層；

在感測單元表面的介質層中形成通孔，使感測單元與后續形成的工作電極接觸。

11.一種采用權利要求1所述方法制作的磁傳感器，包括：

襯底；

襯底表面的至少一個凸臺；

在凸臺側壁和襯底表面的Z軸磁感應單元、以及在襯底的表面的感測單元，所述Z軸磁感應單元包括一與凸臺側壁貼合的磁化本體以及一延伸至襯底表面的引出端，所述Z軸磁感應單元和感測單元包含有磁性材料；

感測單元表面具有工作電極，其特征在于，

在溝槽內的磁化本體表面進一步具有自檢測電極。

12.根據權利要求11所述的磁傳感器，其特征在于，所述襯底表面進一步包括多個凸臺，在凸臺表面進一步包括連接不同凸臺表面各自檢測電極的電連接部分。

13.根據權利要求11所述的磁傳感器，其特征在于，在所述襯底和凸臺的表面包括一絕緣層，所述Z軸磁感應單元和感測單元進一步是設置于所述絕緣層的表面。

14.根據權利要求11所述的磁傳感器，其特征在于，所述磁性材料選自于各項異性磁阻材料、巨磁阻材料以及隧道磁阻材料中的任意一種。

15.根據權利要求11所述的磁傳感器，其特征在于，所述磁性材料具有一預設的誘導磁化方向。

16.根據權利要求11所述的磁傳感器，其特征在于，所述磁化本體與襯底表面的夾角為45°至90°之間。

17.根據權利要求11所述的磁傳感器，其特征在于，所述Z軸磁感應單元和感測單元的表面具有介質層，在感測單元上方開有通孔以與工作電極接觸。

18.根據權利要求11所述的磁傳感器，其特征在于，感測單元與引出端之間間隔一距離，所述距離小于5微米。

19.根據權利要求11所述的磁傳感器，其特征在于，感測單元與引出端之間相互貼合。