[發明專利]檢查裝置及檢查方法

有效

• 申請號: 201310214803.2
• 申請日: 2013-06-03
• 公開（公告）號: CN103454460A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發明（設計）人: 岡田章;秋山肇;山下欽也
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: G01R1/06
• 分類號: G01R1/06;G01R31/00
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 何立波;張天舒

1.?一種檢查裝置，其特征在于，具備：

絕緣基板；

探針，具有固定于所述絕緣基板的主體部、與所述主體部的一端連接且配置于所述絕緣基板的背面側的前端部、和與所述主體部的另一端連接且配置于所述絕緣基板的表面側的連接部；以及

散熱端子，與所述連接部相接觸，

電流經由所述散熱端子及所述探針流向被測定物，

所述散熱端子散發來自所述探針的熱量。

2.?如權利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

所述散熱端子的體積比所述探針的體積大。

3.?如權利要求1或2所述的檢查裝置，其特征在于，

所述散熱端子用金屬材料形成，具有凹部或散熱片。

4.?如權利要求1或2所述的檢查裝置，其特征在于，

所述前端部的與所述被測定物相接觸的部分帶有圓形。

5.?如權利要求1或2所述的檢查裝置，其特征在于，

所述散熱端子具有上表面和下表面，

電流從所述上表面的中央流向所述下表面的中央。

6.?如權利要求1或2所述的檢查裝置，其特征在于，

在所述散熱端子形成有凹部，

所述連接部是能插入所述凹部的形狀。

7.?如權利要求1或2所述的檢查裝置，其特征在于，具備：

臂部，以能移動的方式保持所述散熱端子；以及

控制部，使電流經由所述臂部流入所述散熱端子，控制所述臂部以使所述散熱端子與所述連接部接觸或分離。

8.?如權利要求7所述的檢查裝置，其特征在于，

所述控制部控制所述臂部以將所述散熱端子更換為預備散熱端子。

9.?如權利要求1或2所述的檢查裝置，其特征在于，

分別具有多個所述探針和所述散熱端子，

具備冷卻多個所述散熱端子的送風扇。

10.?一種檢查方法，其特征在于，具備：

第1準備工序，對于具有固定于絕緣基板的主體部、與所述主體部的一端連接且配置于所述絕緣基板的背面側的前端部、和與所述主體部的另一端連接且配置于所述絕緣基板的表面側的連接部的探針，使該探針的所述前端部與第1被測定物相接觸，使散熱端子與所述連接部相接觸；

第1檢查工序，在所述第1準備工序之后，一邊加熱所述第1被測定物，一邊使電流經由所述探針及所述散熱端子流入所述第1被測定物而檢查所述第1被測定物的電氣特性；

分離工序，在所述檢查工序之后，將所述前端部從所述第1被測定物離開，并且將所述散熱端子從所述連接部離開而冷卻所述散熱端子；

第2準備工序，在所述分離工序之后，使所述前端部與所述第1被測定物或第2被測定物相接觸，使所述散熱端子與所述連接部相接觸；

第2檢查工序，在所述第2準備工序之后，一邊加熱所述第1被測定物或所述第2被測定物，一邊使電流經由所述探針及所述散熱端子流入所述第1被測定物或所述第2被測定物而檢查所述第1被測定物或所述第2被測定物的電氣特性。

11.?一種檢查方法，其特征在于，包括：

準備工序，對于具有固定于絕緣基板的主體部、與所述主體部的一端連接且配置于所述絕緣基板的背面側的前端部、和與所述主體部的另一端連接且配置于所述絕緣基板的表面側的連接部的探針，使該探針的所述前端部與第1被測定物相接觸，使散熱端子與所述連接部相接觸；

第1檢查工序，在所述準備工序之后，一邊加熱所述第1被測定物，一邊使電流經由所述探針及所述散熱端子流入所述第1被測定物而檢查所述第1被測定物的電氣特性；

更換工序，在所述第1檢查工序之后，將所述散熱端子更換為預備散熱端子；

第2檢查工序，在所述更換工序之后，一邊加熱所述第1被測定物或第2被測定物，一邊使電流經由所述探針及所述預備散熱端子流入所述第1被測定物或所述第2被測定物而檢查所述第1被測定物或所述第2被測定物的電氣特性。

12.?如權利要求11所述的檢查方法，其特征在于：

安裝于所述散熱端子的溫度傳感器的溫度到達既定溫度時，從所述第1檢查工序進入所述更換工序。