[發明專利]用于軟X射線-極紫外波段光學系統的光路切換機構

有效

• 申請號: 201310213469.9
• 申請日: 2013-05-31
• 公開（公告）號: CN103257446A
• 公開（公告）日: 2013-08-21
• 發明（設計）人: 劉世界;陳波
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G02B26/00
• 分類號: G02B26/00
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 南小平

1.用于軟X射線-極紫外波段光學系統的光路切換機構，其特征是，包括：轉動軸承（1）、片輪組件（2）、片輪轉動大齒輪（3）、片輪轉動小齒輪（4）、步進電機（5）、電機固定架（6）、片輪支架（7）、片輪支撐軸（8）和片輪底板（9）；

片輪組件（2）與轉動軸承（1）配合安裝，轉動軸承（1）與片輪支承軸（8）配合安裝；片輪轉動大齒輪（3）與片輪組件（2）配合，配合后的組件與片輪支承軸（8）連接；片輪支承軸（8）安裝在電機固定架（6）上；

片輪轉動小齒輪（4）與步進電機（5）的轉動軸連接，并與片輪轉動大齒輪（3）嚙合；

步進電機（5）與電機固定架（6）連接；電機固定架（6）與片輪支架（7）連接；片輪底板（9）與片輪支架（7）連接，用于支撐片輪組件（2）；片輪底板（9）與相機主體連接，使片輪組件（2）位于光學系統的光路上。

2.根據權利要求1所述的用于軟X射線-極紫外波段光學系統的光路切換機構，其特征在于，片輪組件（2）由支撐輪轂（2-1）、七片邊孔葉片（2-2）和一片中孔葉片（2-3）組成；七片邊孔葉片（2-2）和中孔葉片（2-3）通過螺釘緊固在支撐輪轂（2-1）上，支撐輪轂（2-1）通過轉動軸承（1）與片輪支承軸（8）配合連接。

3.根據權利要求2所述的用于軟X射線-極紫外波段光學系統的光路切換機構，其特征在于，支撐輪轂（2-1）與片輪轉動大齒輪（3）過盈配合。

4.根據權利要求1所述的用于軟X射線-極紫外波段光學系統的光路切換機構，其特征在于，片輪支承軸（8）與電機固定架（6）過盈配合。

5.根據權利要求2所述的用于軟X射線-極紫外波段光學系統的光路切換機構，其特征在于，邊孔葉片（2-2）上設置對軟X射線波段光的選擇性透過的濾光片。

6.根據權利要求2所述的用于軟X射線-極紫外波段光學系統的光路切換機構，其特征在于，中孔葉片（2-3）上設置對極紫外波段光的選擇性透過的濾光片。