[發明專利]一種陣列基板及其制作方法、顯示裝置

有效

• 申請號: 201310209814.1
• 申請日: 2013-05-30
• 公開（公告）號: CN103293811A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 崔承鎮;金熙哲;宋泳錫;劉聖烈
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362;G02F1/1343;G02F1/1368;H01L27/12;H01L21/77
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

技術領域

本發明涉及液晶顯示器領域，尤其涉及一種陣列基板及其制作方法、顯示裝置。

背景技術

現有技術中常見的液晶顯示裝置主要有AD-SDS(Advanced-Super?Dimensional?Switching，簡稱為ADS，高級超維場開關)型、IPS(In?Plane?Switch，橫向電場效應)型以及TN(Twist?Nematic，扭曲向列)型。其中，ADS型顯示裝置通過同一平面內像素電極邊緣所產生的平行電場以及像素電極層與公共電極層間產生的縱向電場形成多維電場，使液晶盒內像素電極間、電極正上方所有取向液晶分子都能夠產生旋轉轉換。

現有的ADS型顯示裝置中由于像素電極和公共電極的重疊面積大且間距小，從而導致存儲電容Cst非常大，因此在設計時會受到很多限制。目前為了解決Cst過大的問題，通常都采取像素電極和公共電極交錯排列的方式，但一般情況下，由于像素電極和公共電極均采用透明電極材料制成，交錯排列的方式非常要求曝光工藝的精確度，這樣無疑會增加設備以及工藝控制的難度和成本。

發明內容

本發明的實施例提供一種陣列基板及其制作方法、顯示裝置，可以降低制作成本和制作工藝的難度。

為達到上述目的，本發明的實施例采用如下技術方案：

一種陣列基板，包括柵線、數據線以及所述柵線和所述數據線交叉限定的像素區域，所述像素區域包括薄膜晶體管，所述薄膜晶體管包括柵極、柵絕緣層、有源層、源極以及漏極；其特征在于，所述像素區域還包括：

襯底基板，所述襯底基板上包含至少一個凹槽；

第一電極層，所述第一電極層包括至少一個電連接的第一電極條，所述第一電極條設置在所述凹槽內；

第二電極層，所述第二電極層包括至少一個電連接的第二電極條，所述第二電極條設置在所述凹槽外。

優選的，所述襯底基板上的凹槽是等間距的。

優選的，所述凹槽的深度大于所述第一電極層的厚度。

優選的，每個所述凹槽內都設置有所述第一電極條，每個所述凹槽外都設置有所述第二電極條。

可選的，所述柵絕緣層設置在所述第一電極層和所述第二電極層之間；

所述第一電極層通過所述柵絕緣層上的過孔與所述漏極連接。

可選的，所述陣列基板還包括鈍化層，所述柵絕緣層設置在所述第一電極層的下方，所述鈍化層設置在所述第一電極層和所述第二電極層之間；

所述第一電極層直接與所述漏極連接。

可選的，所述陣列基板還包括鈍化層，所述鈍化層設置在所述第一電極層和所述第二電極層之間；

所述第二電極層通過所述鈍化層上的過孔與所述漏極連接。

可選的，所述陣列基板還包括鈍化層，所述柵絕緣層設置在所述第一電極層和所述第二電極層之間，所述鈍化層設置在所述第二電極層的上方；

所述第二電極層直接連接所述漏極。

一種陣列基板的制作方法，包括在所述陣列基板上制作柵線、數據線以及薄膜晶體管，所述薄膜晶體管包括柵極、柵絕緣層、有源層、源極以及漏極；所述陣列基板的制作方法還包括：

制作襯底基板，其中所述襯底基板的非顯示區域上包含至少一個凹槽；

在基板上制作第一透明導電薄膜，并在制作有所述第一透明導電薄膜的基板上涂敷第一光刻膠；

對所述第一光刻膠進行灰化處理，形成第一光刻膠圖案，所述第一光刻膠圖案只覆蓋所述凹槽的底部；

進行刻蝕工藝，除去所述第一光刻膠圖案未覆蓋的第一透明導電薄膜；

進行光刻膠剝離工藝，將所述第一光刻膠圖案剝離，從而形成包括至少一個電連接的第一電極條的第一電極層；

在形成有所述第一電極層的基板上制作絕緣層；

在制作有所述絕緣層的基板上涂敷第二光刻膠，對所述光刻膠進行灰化處理，形成第二光刻膠圖案，所述第二光刻膠圖案只覆蓋所述凹槽的底部；

在所述形成有第二光刻膠圖案的基板上制作第二透明導電薄膜，然后通過光刻膠剝離工藝，去除所述第二光刻膠圖案以及位于所述第二光刻膠圖案上的第二透明導電薄膜，從而形成包括多個電連接的第二電極條的第二電極層。

可選的，所述絕緣層包括柵絕緣層或鈍化層中的至少一個；

制作成的所述第一電極層與所述漏極連接，或制作成的所述第二電極層與所述漏極連接。

優選的，制作成的襯底基板上的凹槽是等間距的。

優選的，制作成的襯底基板上的凹槽的深度大于所述第一電極層的厚度。

一種顯示裝置，所述顯示裝置包括上述的陣列基板。