[發明專利]一種圖形化藍寶石襯底的制備方法有效
| 申請號： | 201310206973.6 | 申請日： | 2013-05-29 |
| 公開（公告）號： | CN103311386A | 公開（公告）日： | 2013-09-18 |
| 發明（設計）人： | 張化宇;汪桂根;崔林;韓杰才 | 申請（專利權）人： | 哈爾濱工業大學深圳研究生院 |
| 主分類號： | H01L33/00 | 分類號： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 深圳市科吉華烽知識產權事務所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 劉顯揚;黃曉笛 |
| 地址： | 518000 廣東省深*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 圖形 藍寶石 襯底 制備 方法 | ||
1.一種圖形化藍寶石襯底的制備方法，其特征在于，包括如下幾個步驟：
步驟A:?在藍寶石基片的一個面上磁控濺射金屬鋁膜；
步驟B:?在金屬鋁膜上施涂光刻膠膜，烘干;
步驟C:?進行激光干涉曝光、顯影，獲得光刻膠圖形；
步驟D:?以金屬鋁膜上圖形化光刻膠為掩膜，采用反應離子刻蝕金屬鋁膜和去膠，在藍寶石基片上獲得金屬鋁膜凸臺的圖形化金屬鋁膜；
步驟E:進行低溫熱處理，使圖形化金屬鋁膜充分氧化成為圖形化多晶Al2O3膜;
步驟F:將得到的圖形化多晶Al2O3膜進行高溫熱處理，使圖形化多晶Al2O3膜完全轉化為圖形化單晶Al2O3膜，即得到圖形化藍寶石襯底。
2.如權利要求1所述的圖形化藍寶石襯底的制備方法，其特征在于,所述金屬鋁膜的厚度為150nm～200nm。
3.如權利要求1所述的圖形化藍寶石襯底的制備方法，其特征在于,所述步驟B中的光刻技術選用激光干涉光刻。
4.如權利要求1所述的圖形化藍寶石襯底的制備方法，其特征在于,所述步驟B中光刻膠采用AZ1500光刻膠。
5.如權利要求1所述的圖形化藍寶石襯底的制備方法，其特征在于,所述步驟B中光刻膠膜的厚度為150nm～250nm。
6.如權利要求1所述的圖形化藍寶石襯底的制備方法，其特征在于,所述步驟E中低溫熱處理的溫度為400℃～600℃。
7.如權利要求1至4任一項所述的圖形化藍寶石襯底的制備方法，其特征在于,所述步驟F中高溫熱處理的溫度為950℃～1250℃。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于哈爾濱工業大學深圳研究生院，未經哈爾濱工業大學深圳研究生院許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201310206973.6/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種LED芯片封裝方法
- 下一篇：一種晶體硅太陽能電池的制備方法
