[發(fā)明專利]環(huán)保多功能導(dǎo)電膜的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310206271.8
• 申請(qǐng)日: 2013-05-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103757612A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-04-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊葆華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 楊葆華
• 主分類號(hào): C23C18/12
• 分類號(hào): C23C18/12
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是以材料或材料性能為特征的歐姆電阻導(dǎo)電薄膜，尤其是涉及一種環(huán)保型多功能導(dǎo)電膜的制造方法。

背景技術(shù)

金屬氧化物導(dǎo)電材料是半導(dǎo)體家族中的重要成員，因其具有良好的電性能和節(jié)能效果，數(shù)十年來(lái)廣為人們所關(guān)注。廣大科技人員的不懈努力，技術(shù)進(jìn)步顯著，使應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓寬，特別是薄膜型面狀導(dǎo)電材料，因其熱響應(yīng)快，電熱轉(zhuǎn)換效率高，節(jié)能效果顯著，已在采暖，熱水器等方面得到廣泛應(yīng)用。

目前，常用的金屬氧化物導(dǎo)電薄膜主要有二氧化錫、三氧化二銦、氧化鋅和銦酸鎘及其摻雜體系。它們多是采用相應(yīng)金屬的氯化物溶于無(wú)水乙醇，配制為成膜液，在高溫下經(jīng)噴涂熱解或其它方法形成金屬氧化物導(dǎo)電薄膜，再經(jīng)制極引線完成元件化生產(chǎn)。問(wèn)題在于這些金屬氯化物的乙醇溶液，在高溫噴涂熱解過(guò)程中所產(chǎn)生的大量氯氣與氯化氫氣體，對(duì)大氣造成嚴(yán)重污染。氯化具有窒息性臭味，有毒！一般操作場(chǎng)所空氣中含量不得超過(guò)0.001mg/升，呼吸道中的水分是以使氯化激烈反應(yīng)生成次氯酸和鹽酸，前者極不穩(wěn)定，進(jìn)而分解為氧和氯化氫。氯化氫極易溶于水而生成鹽酸。鹽酸是強(qiáng)酸之一，具有極強(qiáng)的腐蝕性，對(duì)皮膚可引起燒傷，對(duì)呼吸系統(tǒng)具有刺激性損傷。

近年來(lái)我國(guó)出臺(tái)了“環(huán)保一票否決權(quán)”的法規(guī)，說(shuō)明了在我國(guó)環(huán)境保護(hù)的重要性、緊迫性和國(guó)家的高度重視性。與其走發(fā)達(dá)國(guó)家“一年污染，百年治理”的老路，不如從我做起，從源頭給力，盡一切可能減少或杜絕污染。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提出一種環(huán)保多功能導(dǎo)電膜的制造方法，遵照“強(qiáng)本節(jié)用”的古訓(xùn)，從保護(hù)環(huán)境出發(fā)，選擇物豐價(jià)廉污染小的原材料組方，達(dá)到既能節(jié)約成本，又能善待環(huán)境的目的。

本發(fā)明的技術(shù)方案是如下實(shí)現(xiàn)的，一種環(huán)保多功能導(dǎo)電膜的制造方法，其成膜液配方重量比為：

一種環(huán)保多功能導(dǎo)電膜的制造方法，其工藝步驟包括：制備成膜液、清潔基材、熱解成膜、制極引線、沖擊老化，具體是：

1，制備成膜液：先用醋酸將蒸餾水酸化，以防鋅鹽水解；再按配方稱取各組份，攪拌下慢慢依次加入醋酸鋅二水、三醋酸鋁、醋酸錳四水、醋酸銅一水，攪至完全溶解，蓋好，備用。

2，清潔基材：把玻璃、陶瓷、碳化硅、搪瓷等硬質(zhì)耐溫基材用自來(lái)水洗凈，擦去水汽，烘干、防塵，備用；薄型耐溫基材如云母，礦棉布等，必要時(shí)用酒精棉擦干凈即可。

3，熱解制膜：把潔凈干爽的基材裝上工夾具，沿軌道推入成膜爐，在250～300℃下，采用超低容量噴霧法(即利用特制的設(shè)備與噴頭，使噴出的霧滴小于100微米)將成膜液霧化噴入爐內(nèi)，通過(guò)一系列化學(xué)反應(yīng)，生成相應(yīng)的金屬氧化物導(dǎo)電微粒，沉降嵌入基材表面晶格中，積展成以氧化鋅為主晶相的摻雜導(dǎo)電薄膜。

(CH₃COO)₂Zn·2H₂O+4O₂＝ZnO+4CO₂+5H₂O

2(CH₃COO)₃Al+12O₂＝Al₂O₃+12CO₂+9H₂O

2(CH₃COO)₂Mn·4H₂O+9O₂＝2MnO₂+8CO₂+14H₂O

(CH₃COO)₂Cu·H₂O+4O₂＝CuO+4CO₂+4H₂O

CuO+MnO₂＝CuMnO₃

銅錳氧化物是良好的半導(dǎo)體材料，摻雜在氧化鋅晶相中，提高了膜層的電容性與穩(wěn)定性。

4，制極引線：根據(jù)產(chǎn)品需要，在膜層的適當(dāng)位置涂制導(dǎo)電銀漿，在100℃左右烘干后，送入250～300℃還原爐中還原20～30分鐘，致使電極呈均勻致密，光滑平整的銀白色為合格。

5，沖擊老化：從電極處引出電極線，用高于工作電壓1～25倍的電壓以每一秒為間隔通斷10～20次后，連續(xù)通3～10分鐘，使膜層晶格有序化，同時(shí)讓有缺陷之產(chǎn)品充分暴露問(wèn)題，及時(shí)篩除，以確保產(chǎn)品質(zhì)量。